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孚光精儀是中國規模型進口光學精密儀器供應商,是全球光電子儀器和基于光子技術精密儀器的規模性進口商和代理商，主營飛秒激光微加工系統,激光器,激光晶體,原子力顯微鏡等
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COVAP物理氣相沉積系統詳細信息
COVAP物理氣相沉積系統為許多工藝應用提供緊湊、經濟、但仍然穩健的PVD解決方案。專為需要安全可靠PVD的實驗室而設計，該COVAP物理氣相沉積系統可在緊湊的實驗室內生產可重復的高質量薄膜。
COVAP物理氣相沉積系統隔離沉積源以減少熱效應和交叉污染。Covap PVD系統配備了一整套可拆卸腔室屏蔽，以確保腔室易于清潔和維護。當腔室打開時，切斷電源和級電源以及氣壓，確保高水平的安全。它可以集成到手套箱中，也可以在獨立配置中選擇。
COVAP物理氣相沉積系統規格參數
矩形蛤殼式腔室，便于接近
即使在手套箱中，也可以輕松裝載材料和基材
Covap物理氣相沉積平臺為移除屏蔽、清潔和為下一次運行準備系統提供了暢通無阻的通道
準備好手套箱集成
緊湊型600mm x 1000mm系統占地面積
從2或4個源配置中進行選擇
基于配方的高級多層控制
順序或共沉積
zui大100mm x 100mm基板的固定支架
仔細隔離QCM傳感器，以確保沒有來自相鄰源材料的干擾
渦輪分子泵提供高真空
2年保修，擁有業界靈敏的支持團隊
相關資質
編號：91310115MA1K3L3E4N
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移動站：COVAP物理氣相沉積系統
內容聲明：
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