化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷您訪問的東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機產品信息,由深圳九州工業品有限公司自行發布提供,產品價格為面議,如您想了解更多關于東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機型號、參數、用途等信息,歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責,為保障安全,建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量!
化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
化工儀器網小程序
更多流量 更易傳播
公眾號:chem17
隨時掌握行業動態
產品簡介
日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1
東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機
東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機
用途:支持各種應用
特長
-寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)
-搭載可變NA功能 (可變為0.16和0.1)
-最多8Field的拼接設計格式
-光學系統不受感光材揮發氣體和周圍環境中化學物質影響
制品規格
| 型式 | PPS-8200p1/8300p1 |
| wafer尺寸 | 6/8/12 英寸 |
| NA(開口數) | 0.16、0.1可變 |
| 縮小比 | 1:1 |
| Field尺寸 | 52mm × 33mm |
| 光刻波長 | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動) |
| 視野尺寸 | 6inch |
| 重復對位精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
| 裝置尺寸/重量 | (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg |
日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1
用途:支持各種應用
特長
-寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)
-搭載可變NA功能 (可變為0.16和0.1)
-最多8Field的拼接設計格式
-光學系統不受感光材揮發氣體和周圍環境中化學物質影響
制品規格
| 型式 | PPS-8200p1/8300p1 |
| wafer尺寸 | 6/8/12 英寸 |
| NA(開口數) | 0.16、0.1可變 |
| 縮小比 | 1:1 |
| Field尺寸 | 52mm × 33mm |
| 光刻波長 | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動) |
| 視野尺寸 | 6inch |
| 重復對位精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
| 裝置尺寸/重量 | (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg |

留言咨詢
您訪問的東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機產品信息,由深圳九州工業品有限公司自行發布提供,產品價格為面議,如您想了解更多關于東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機型號、參數、用途等信息,歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責,為保障安全,建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量!
該廠商其他產品
*您想獲取產品的資料:
個人信息:
用戶評論
發布評論