化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
品牌介紹：1959年創建于英國牛津，是英國倫敦證交所的上市公司。在五十多年的高速發展過程中，牛津儀器公司憑借自身的科研優勢，以超前的技術、出色的管理和獨樹一幟的產品和服務為的科技發展作出了巨大的貢獻。牛津儀器現已成為世界的科學儀器領域的跨國集團公司，擁有分布于英國、美國、芬蘭、德國和中國的十幾個工廠、數十個分公司和辦事處，業務遍及一百多個國家和地區。
查看更多產品簡介
反應性離子刻蝕系統RIE詳細信息
1.產品概述：
asmaPro 800系列是結構緊湊、且使用方便的直開式系統，該系統為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應離子蝕刻（RIE）工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺能夠處理量產別的批量以及300mm晶圓的工藝。
2.產品特點：
PlasmaPro 800系列是結構緊湊、且使用方便的直開式系統，該系統為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應離子蝕刻（RIE）工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺能夠處理量產別的批量以及300mm晶圓的工藝。PlasmaPro 800系列是結構緊湊、且使用方便的直開式系統，該系統為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應離子蝕刻（RIE）工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺能夠處理量產別的批量以及300mm晶圓的工藝。
3.產品工藝：
高性能工藝
準確的襯底溫度控制
準確的工藝控制
成熟的300mm單晶圓失效分析工藝
大型下電 - 低成本
刻蝕終點監測 - 可靠性和可維護性俱佳
通過激光干涉儀與/或發射光譜進行終點監測 - 增強刻蝕控制
可選擇帶有4-、8-或12-條氣路的氣柜 - 可提供靈活的工藝和工藝氣體，可以與主機分離，放置在遠端服務區
近距離耦合渦輪泵 - 提供優秀的泵送速度加快氣體的流動速度
數據記錄 - 追溯腔室的歷史狀態以及工藝條件
液體冷卻和/或電加熱電 - 出色的電溫度控制和穩定性
相關資質
編號：粵深食藥監械經營備202047036
關聯品牌
留言咨詢
移動站：反應性離子刻蝕系統RIE
內容聲明：
您訪問的反應性離子刻蝕系統RIE產品信息，由深圳市矢量科學儀器有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于反應性離子刻蝕系統RIE型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
相關分類
Categories
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發布評論