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佐藤真空株式會社SATOVACINC成立于1932年，產品商標PHIL，產品有油回轉式真空泵，真空計，烘焙真空設備，干燥真空設備，注膜真空設備等產真空產品。佐藤真空在真空泵、真空測量器、產生各種真空部件的組件技術和將其應用于所有真空裝置群的技術這兩方面進行了磨練，持續了技術革新。
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擴散泵排氣裝置詳細信息
由100V電源供電，可在任何地方放置。主框架和底座采用鋁，以減輕重量。
緊湊的設計限度地提高了易用性。以較低的成本提供高真空環境。
三通閥切換只允許用輔助泵抽水。易于維護和檢查。
| 型式 Model | DPS-2-ZA | DPS-2-ZB | DPS-3-ZA | DPS-3-ZB | DPS-4-ZA | DPS-4-ZB |
| 擴散泵 Di-usion pump | 70L/s | 150L/s | 250L/s | |||
| 輔助泵 Roughing pump | DW-60 | USW-50N | DW-120 | USW-100N | DW-120 | USW-150N |
| 到達壓力 Ultimate pressure | ×10 -4Pa *3 | |||||
| 起動時間 Start time | 17 min *2 | 22 min *2 | ||||
| 吸氣口徑 Suction connection port | VF-50 | VF-80 | VF-100 | |||
| 所要電力（AC) Power supply | 100V 15A | 100V 15A×2 *4 | ||||
| 質量 Weight | 約57kg | 約60kg | 約68kg | 約70kg | 約70kg | 約80kg |
| 外形寸法（W×D×H) Outer dimensions(mm) | 600×400×935 | 600×400×995 | 600×400×1095 | 600×400×1030 | 600×400×1130 | |
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移動站：擴散泵排氣裝置
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