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佐藤真空株式會社SATOVACINC成立于1932年，產品商標PHIL，產品有油回轉式真空泵，真空計，烘焙真空設備，干燥真空設備，注膜真空設備等產真空產品。佐藤真空在真空泵、真空測量器、產生各種真空部件的組件技術和將其應用于所有真空裝置群的技術這兩方面進行了磨練，持續了技術革新。
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真空熱處理爐（燒入、燒結、燒鈍）詳細信息
| 類型Ⅰ 內碳 | 類型Ⅱ 內金屬 | 類型Ⅲ 外熱 | |
| 型式 | VHF-Ⅰ© | VHF-Ⅰ(M) | VHF-E |
| 加熱溫度域 | 超高溫、高溫（1）、高溫（2）700～2300℃ | 超高溫、高溫（1)1000～2300℃ | 高溫（1）、高溫（2）700～1600℃ |
| 硬質碳 | 金屬加熱棒（鎢 鉬 炭化珪素） | 金屬加熱棒 | |
| 容器材質 | 不銹鋼：SUS304 (水冷） | 不銹鋼：SUS304（水冷） | 爐芯管材：鋁管（～1600℃） 石英管（～1200℃） |
溫度領域と構成
| 分 類 | 加熱溫度 | 制御センサ | ヒータ材質 （加熱方式） |
| 超高溫 | 1400～2300℃ | 放射溫度計 | 碳加熱棒 金屬加熱棒(W、Mo）*1 |
| 高溫1 | 1000～1500℃ | 白金—ロジューム熱電対 （S型、R型、B型） | 碳加熱棒 金屬加熱棒(Mo、SiC）*1 |
| 高溫2 | 700～1100℃ | クロメルーアルメル熱電対 （K型） | カンタル線ヒータ |
壓力領域（真空度）と真空ポンプ
| 壓力（Pa) | 真空 |
| 大氣～3.0 | 油旋片泵 |
| 大氣～10 | 干式泵 |
| 1000～0.4 | 羅茨泵＋油旋片泵 |
| 3～1×10 -3 | 擴散泵＋油旋片泵 |
| 200～2×10 -5 | 渦輪分子泵+干泵 渦輪分子泵+油旋片泵 |
| 40～10 -7 | 冷凍泵+抽水機 冷凍泵+油旋片泵 |
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移動站：真空熱處理爐（燒入、燒結、燒鈍）
內容聲明：
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