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EBARA荏原 ESA干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場景表現出色。具備流量自適應轉速調整、通信功能等額外功能。

EBARA荏原 ESA干式真空泵

●適用于大型真空腔室的高速抽氣場景；

●搭載轉速自動控制功能（自適應泵的負荷）；

●可滿足有機溶劑要求的可選配件；

●搭載高性能通信功能；

●優良的控制管理方式

（數據保存功能、警報履歷備份）。

核心技術特性

無油設計：采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉子結構，通過精密機械密封實現無油運行，避免油蒸氣污染，適合潔凈環境（如半導體、生物實驗室）。

耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質）。

高效節能：優化轉子動力學設計，能耗較傳統油式泵降低30%~50%，支持變頻調速（20%~100%流量調節）。

低維護成本：無需定期更換油液，維護周期長達8,000~12,000小時，顯著減少停機時間。

用戶體驗與核心優勢

潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題，保護工藝介質與產品質量。

低噪音運行：噪聲水平＜65 dB(A)，適合實驗室及潔凈車間環境。

智能監控：集成壓力傳感器與物聯網模塊，實時監測真空度、溫度、振動，支持遠程報警與故障診斷。

模塊化設計：支持多泵并聯或與分子泵、羅茨泵組成復合真空系統，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。