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產品簡介
| 2英寸 | 鍍金樣品臺 |
• 入門級低溫探針臺
• 可以使用液氮或者液氦制冷
• 輻射屏有可視窗、樣品可視化操作
• 緊湊式臺面設計、無支架可放置在客戶平臺上
• 可定制最大4in的樣品臺(標配2in)
• 可選高溫樣品臺,最高溫達到675K
• 南京芯測受歡迎的低溫探針臺之一
規格:
◆ 樣品臺:鍍金樣品臺
◆ 樣品臺尺寸:2英寸/4英寸
◆ 顯微鏡:3400萬像素CCD相機
◆ 探針臂:最多可安裝6個探針臂、X方向行程:50mm、移動分辨率3μm;Y、Z方向行程:25mm,移動分辨率5μm
◆ 探針配置:DC探針、射頻探針、光纖探針可選
◆ 真空系統:機械泵或分子泵
◆ 真空度:5×10^-3Pa(很低溫)
◆ 溫度范圍:液氮制冷78K-500K、液氦制冷4K-350K
◆ 溫控精度:0.1K
◆ 制冷方式:液氮或液氦
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移動站:2英寸/4英寸低溫探針臺
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