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內容聲明：
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產品簡介
閉循環低溫探針臺-詳細信息
特點：
• 無需消耗制冷劑
• 全程無值守降溫
• 豐富的選件和配件
• 遠程軟件控溫
• 芯測能實現很低溫度的閉循環制冷機探針臺
• 可定制最大4in的樣品臺(標配2in)
規格：
◆ 樣品臺：鍍金樣品臺(三同軸、同軸、接地)
◆ 樣品臺尺寸：2英寸/4英寸
◆ 顯微鏡：最小分辨率2μm或4μm可選
◆ 探針臂：最多可安裝6個探針臂、X方向行程：50mm、移動分辨率3μm;Y、Z方向行程：25mm,移動分辨率5μm
◆ 探針配置：DC探針、射頻探針、光纖探針可選
◆ 真空系統：機械泵或分子泵
◆ 真空度：5×10^-3Pa(室溫)、5×10^-5Pa（很低溫）
◆ 溫度范圍：4.5K-350K(兩個針臂)、5.5K-350K(四個針臂)、6K-350K(六個針臂)、20K-675K(高溫選件)
◆ 溫控精度：小于300K、±50mK、大于300K、±100mK
◆ 低振動選件：真空泵與腔體間機械物理隔振、壓縮機與冷頭之間機械物理隔振、桌面氣浮隔振、極限低振動小于1μm
結構：
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移動站：閉循環低溫探針臺-
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