美國Entegris   在線氣體過濾器 寧波

美國Entegris   在線氣體過濾器 寧波

Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器 適用于高溫、超純氣體應用的顆粒過濾。

專為高溫 TEOS 和高達 200°C （392°F） 的高 k 應用而設計  整體設計 （148 mm [5.82“]） 是類似過濾器的直接替代品，緊湊的尺寸適合許多現有的輸送系統，并提供設計靈活性和多功能性

特殊烘烤可實現快速氣體輸送啟動，，低壓差提供穩定和改進的材料輸送

應用Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器應用用于 CVD 工具的使用點過濾器

TEOS 和高 k 等高溫應用  熱 N2應用

產品規格 材料 膜 聚四氟乙烯   支持 PFA 系列   外殼 316L 不銹鋼 

去除顆粒等級 ≥0.0015 微米   顆粒截留 ≥99.9999999% @ 25°C （77°F） 

初始下游清潔度 大于 0.01 μm 的 ≤0.03 個顆粒/升   內表面光潔度 ≤7 μin Ra （Ra <0.17 μm） 

連接 1/2“ 密封外螺紋墊圈（兼容 VCR）®   

工作條件

 最大工作壓力 0.99 MPa （9.9 bar;143.15 psig） @ 0° 至 200°C（0° 至 392°F） 

 最大正向壓差 0.70 MPa （7 bar;101.5 psid） @ 0° 至 40°C （0° 至 104°F） 

   0.08 MPa （0.8 bar;11.6 psid） @ 200°C （392°F）   最高工作溫度 200°C （392°F） 惰性氣體 

氦氣泄漏等級 <1 x 10-10帕米3/秒   流量等級 請參閱性能數據 

Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器零件編號

      零件編號                                          長度

WGMXMPRR4HT                    127 毫米(5.00 英寸)

WGMXMPRR4HTL                  148 毫米(5.83 英寸)