ZeGage Pro 依托多種成熟光學(xué)測(cè)量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同表面特性樣品的精準(zhǔn)檢測(cè)。其核心技術(shù)包括相移干涉（PSI）與動(dòng)態(tài)干涉（DI），相移干涉技術(shù)通過(guò)控制參考鏡的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉圖像，再通過(guò)算法提取樣品表面高度信息，適用于超光滑表面測(cè)量，縱向分辨率可達(dá)到 0.1nm；動(dòng)態(tài)干涉技術(shù)則能在樣品輕微振動(dòng)的環(huán)境下穩(wěn)定工作，通過(guò)實(shí)時(shí)捕捉干涉條紋變化，消除振動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，適配生產(chǎn)線(xiàn)上的在線(xiàn)檢測(cè)場(chǎng)景。