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ZYGO公司是精密測量儀器和光學(xué)系統(tǒng)的專業(yè)設(shè)計和制造企業(yè)。總部位于美國的康涅狄格州，研發(fā)部門遍布全美及世界各地。ZYGO公司于2014年加入AMETEK(阿美特克)集團(tuán)，成為超精密技術(shù)分部的一員。
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ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測量保障產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測量保障詳細(xì)信息
ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測量保障
ZeGage Pro 采用緊湊型臺式設(shè)計，機(jī)身尺寸約 550mm×480mm×700mm，重量約 65kg，無需專用安裝空間，普通實驗室操作臺即可放置，節(jié)省場地資源。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度冷軋鋼板，表面經(jīng)過靜電噴塑處理，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長期使用仍能保持外觀整潔，同時有效隔絕外部環(huán)境對內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)的干擾。
核心光學(xué)系統(tǒng)密封在獨立的防塵艙內(nèi)，艙體采用密封膠條密封，防止灰塵、水汽進(jìn)入，保障光學(xué)元件清潔，避免因污染影響成像質(zhì)量。鏡頭接口采用標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計，兼容 8 種常用倍率物鏡，更換物鏡時只需輕輕旋轉(zhuǎn)即可裝卸，無需復(fù)雜的校準(zhǔn)步驟，軟件會自動識別物鏡型號并匹配相應(yīng)參數(shù)，減少操作時間。樣品臺是設(shè)備的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)之一，采用精密滾珠導(dǎo)軌，導(dǎo)軌表面覆蓋耐磨涂層，確保長期移動后仍能保持精度。樣品臺 X 軸、Y 軸移動范圍均為 80mm，Z 軸移動范圍為 40mm，搭配高精度光柵尺，移動精度可達(dá) 0.05μm，能精準(zhǔn)定位樣品測量位置。
以下為 ZeGage Pro 核心參數(shù)表：
參數(shù)類別 | 具體參數(shù) |
測量技術(shù) | 相移干涉、動態(tài)干涉、共聚焦成像 |
橫向分辨率 | 0.15μm（20x 物鏡） |
縱向分辨率 | 0.1nm（相移干涉模式） |
掃描范圍 | X/Y 軸：80mm×80mm，Z 軸：40mm |
樣品臺承重 | 15kg |
樣品臺移動精度 | 0.05μm（XYZ 軸） |
傳感器幀率 | 120 幀 / 秒 |
軟件方面，內(nèi)置 ISO 4287、ASME B46.1 等國際通用標(biāo)準(zhǔn)算法，確保測量數(shù)據(jù)符合行業(yè)規(guī)范，支持與其他分析軟件的數(shù)據(jù)互通，方便后續(xù)數(shù)據(jù)處理與分析。
ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測量保障
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