ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀憑借非接觸式測量與納米級精度能力，在光學(xué)制造、半導(dǎo)體、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及精密加工等多領(lǐng)域展現(xiàn)應(yīng)用價(jià)值，其靈活配置與精準(zhǔn)性能為各行業(yè)測量需求提供定制化解決方案。

光學(xué)制造領(lǐng)域：透鏡面型誤差精準(zhǔn)評估
以直徑50mm的平凸透鏡為例，設(shè)備通過相干掃描干涉術(shù)（CSI）快速捕捉表面三維形貌數(shù)據(jù)，結(jié)合Mx軟件分析面型誤差。測量結(jié)果顯示，與標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備對比誤差小于λ/20（λ=632.8nm），可精準(zhǔn)識別鏡片加工中的面型偏差，助力生產(chǎn)過程中的精度調(diào)整。該案例體現(xiàn)設(shè)備在超光滑表面測量中的優(yōu)勢，滿足光學(xué)元件對曲率半徑、面形誤差的高標(biāo)準(zhǔn)要求。