通過對每個像素點的干涉信號進行算法處理，可以精確地確定出該點光強最大時所對應的掃描位置，從而計算出該點相對于參考鏡的高度。最終，將所有像素點的高度信息組合起來，就構成了樣品表面的三維形貌圖。這種方法的測量精度與光源的波長緊密相關，因此能夠實現亞納米級別的垂直分辨率。

ZeGage Pro在設計上考慮了測量的便利性。它內置了PZT（壓電陶瓷 transducer）掃描器，能夠以較高的重復性進行精密的垂直掃描。同時，儀器集成了自動光強控制功能，可以根據樣品反射率的差異自動調整光源亮度，避免信號過飽和或不足，從而擴展了可測樣品的范圍，從高反光金屬到低反光黑色材料均可適應。

這種非接觸的測量方式不會對樣品表面造成劃傷或污染，對于柔軟、易損或珍貴的樣品而言，是一種合適的測量選擇。此外，由于測量速度快，可以在短時間內完成大面積掃描，有助于提高檢測效率。了解其技術原理，用戶就能理解為何在測量前需要進行光強調整、為何要選擇適當的掃描范圍，從而在操作中做出合理的參數設置。