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移動端訪問更便捷ZYGO公司是精密測量儀器和光學系統的專業設計和制造企業。總部位于美國的康涅狄格州,研發部門遍布全美及世界各地。ZYGO公司于2014年加入AMETEK(阿美特克)集團,成為超精密技術分部的一員。
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
| 應用領域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZYGO 3D光學輪廓儀光學元件檢測應用
硬件選擇:根據透鏡尺寸選物鏡,小口徑透鏡(直徑≤5mm)用 20X 物鏡(水平分辨率 0.8μm),大口徑透鏡(直徑>5mm)用 10X 物鏡(覆蓋更大范圍);
參數設置:掃描范圍 1-5mm×1-5mm(匹配透鏡測量區域),數據點密度 1000 點 /mm2(捕捉微觀粗糙度),開啟 “偏振光” 功能(減少透明透鏡反光干擾);
測量流程:用專用夾具固定透鏡(避免按壓變形),自動對焦后掃描(約 25 秒 / 次),軟件生成 3D 表面形貌圖。
軟件計算 Ra 值,若超 0.01μm,反饋至透鏡拋光工藝(調整拋光輪轉速、磨料粒度);
選擇 “曲率分析” 模塊,自動擬合透鏡曲面,輸出曲率半徑數據(如 R=20.05mm),與設計值(20mm)對比,偏差超 0.1% 需重新加工。
硬件選擇:選用 50X 物鏡(垂直分辨率 0.05nm,精準捕捉薄膜層間信號),搭配白光干涉模塊;
參數設置:掃描范圍 0.2mm×0.2mm(薄膜局部區域),數據點密度 1200 點 /mm2,開啟 “薄膜分析” 專用算法;
測量流程:將薄膜樣品(如玻璃基底鍍膜)放在樣品臺,掃描后軟件自動識別薄膜上下表面(基于折射率差異),計算厚度值。
軟件生成厚度分布熱力圖,標注厚度偏差超 5nm 的區域(如邊緣區域厚度 480nm,中心 495nm),指導鍍膜工藝調整(如優化鍍膜機靶材位置);
統計整片薄膜的厚度均勻性(如平均厚度 490nm,偏差 ±3nm),作為薄膜合格判定依據。
硬件選擇:選用 10X 物鏡(覆蓋棱鏡表面與棱角區域),搭配自動樣品臺(便于多角度測量);
參數設置:掃描范圍 3mm×3mm(含棱鏡棱角與表面),數據點密度 800 點 /mm2,開啟 “缺陷識別” 功能(閾值設為劃痕寬度≥1μm);
測量流程:自動樣品臺移動至棱鏡不同區域(表面、棱角),分次掃描(約 30 秒 / 區域),軟件整合多區域數據。
軟件測量棱鏡棱角角度(如直角棱鏡 90.05°),偏差超 0.1° 需重新研磨棱角;
自動標紅劃痕缺陷(如寬度 1.2μm 的劃痕),統計缺陷數量,超 3 處 / 片需返修。
光學元件表面禁觸碰,需戴無塵手套操作,避免指紋、灰塵污染測量區域;
測量透明元件時,確保樣品臺水平(用水平儀校準),防止樣品傾斜導致測量偏差;
不同材質元件(如玻璃、塑料基底)需調整 “折射率參數”(軟件內置常見材質折射率數據庫),確保厚度、曲率計算準確。

ZYGO 3D光學輪廓儀光學元件檢測應用
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