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日本EBARA荏原G6-E型廢氣處理設(shè)備

日本EBARA荏原G6-E型廢氣處理設(shè)備

G6-E型廢氣處理設(shè)備

此燃燒型廢氣處理設(shè)備適用于半導(dǎo)體制造工藝中（如：外延工藝）產(chǎn)生大流量氫氣

氯氣的廢氣處理。

■ 特 點(diǎn)

●適合外延生長工藝氣體處理的緊湊設(shè)計(jì)；

●可同時處理大流量氫氣氯氣，最大進(jìn)氣量為400L/min；

●標(biāo)配副產(chǎn)物清除功能（燃燒器部分），保證正常運(yùn)行時間。

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