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日本EBARA荏原RJ-CA型天然制冷劑冷卻器

日本EBARA荏原RJ-CA型天然制冷劑冷卻器

產品介紹

該冷水機適用于使用天然制冷劑（CO2）的半導體制造設備。 內置超小型罐裝泵和荏原的變頻控制技術，節省空間和能源。

±溫度控制在0.1°C，有助于提高工藝穩定性和提高產量。

中崎目前已獲得NPM脈沖、CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機、HAYASHI林時計、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學、SIBATA柴田科學、HORIBA堀場、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、AND愛安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權認證。