日本EBARA荏原廢氣處理設備G-WS  1000

日本EBARA荏原廢氣處理設備G-WS  1000

G-WS型是一種濕式廢氣處理設備，能以低成本安裝并運行。此型號不需要燃料，并且基于荏原針對燃燒型廢氣設備方面積累的十多年獨特副產物對策，實現了較

長的維護周期。通過延長正常運行的時間，保證了運行的穩(wěn)定，并降低維護成本和

人力成本。此外，維護窗口開設在設備正面，即使在Sub-Fab有限的空間中也可以

進行靈活的布局。

特點

無需燃料，運行成本低;

通過多種副產物對策實現較長

節(jié)省維修空間的設計;

處理對象氣體:NH3、DCS、

翻譯中

可在常溫下處理的水溶性氣體。

EBARA 荏原 G-WS1000 是面向半導體制程的點用濕式洗滌塔，專為水溶性腐蝕性工藝廢氣設計，zui大處理風量1000 L/min，適合 Epi、CVD、刻蝕等工序的末端治理荏原製作所。

核心規(guī)格（原廠標準）

表格

參數項數值備注

zui大處理風量1000 L/min核心額定指標荏原製作所

進氣接口4 個多工藝線接入能力荏原製作所

電源3 相 AC200V，50/60Hz，1.8–3.5kW功率隨配置浮動

外形尺寸W914×D736×H1727 mm緊湊設計，適配潔凈室

公用工程工藝水：1–10 L/min；氮氣：15–50 L/min穩(wěn)定運行必需

排氣接口處理氣：1.5 m3/min；機箱排氣：1.3 m3/min需配套排風系統

適用與不適用氣體

適用（水溶性 / 腐蝕性）：HCl、NH3、WF6、TiCl4、BCl3、ClF3、SiF4、HF、HBr 等；Cl2、F2 需特殊確認。

不適用（濕式無法處理）：H2、SiH4、PH3、CH4、PFCs（CF4、SF6、NF3）等，需搭配燃燒式或干式裝置。

核心特點與設計

單面前維護：僅需正面操作空間，適配 Sub-Fab 緊湊布局。

產物控制技術：基于燃燒式裝置經驗，減少鹽類堵塞，提升運行穩(wěn)定性。

多接口集成：4 個進氣口，滿足多臺工藝設備集中處理需求。