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產品簡介
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-20萬 |
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,電子/電池,電氣,綜合 |
反射式光學膜厚儀測試原理
反射膜厚儀基于白光干涉原理工作,光源發出的寬帶光入射至待測薄膜表面后,經薄膜上下表面反射形成的兩束反射光會因光程差產生干涉,干涉信號中包含薄膜厚度、光學常數等關鍵信息,設備通過探頭采集干涉后的反射光譜,對特定波段范圍內的光譜進行模型擬合后,即可反演解析出薄膜的厚度、光學常數及粗糙度等參數,整個系統由高強度組合光源提供寬光譜入射光,經光學系統傳輸至樣品,反射光返回后由高速光譜模塊采集信號,最終通過上位機軟件完成數據處理與結果輸出。
產品特點
1. 精準測量:支持20nm超薄膜厚檢測,準確度±1nm、重復精度0.05nm,滿足精密檢測需求;
2. 高速采樣:采樣速度100Hz,適配產線快速檢測,提升測量效率;
3. 寬光譜覆蓋:采用氘鹵組合光源,光譜覆蓋紫外至近紅外,可解析單層/多層膜厚;
4. 強抗干擾性:高靈敏度元器件搭配抗干擾光學系統+多參數反演算法,復雜環境下測量穩定;
5. 靈活易適配:支持自定義膜結構測量,設備小巧易安裝,配套軟件及二次開發包,適配實驗室/產線多場景。
反射式光學膜厚儀技術參數
| 型號 | HD-FT50UV | HD-FT50NIR |
| 建議工作距離 | 非聚焦光束,安裝距離5至10mm | 安裝側面出光附加鏡時:34.5mm±2mm; 軸向出光時:55mm±2mm; |
| 測量角度 | ±10° | ±5° |
| 光斑類型 | 彌散光斑;在10mm安裝距離時,光斑直徑約為4mm; | 聚焦光斑;約200μm |
| 探頭外徑*長度 | Φ6.35*3200mm3 | Φ20*73mm |
| 探頭重量 | 190g | 108g(探頭)、49g(附加鏡) |
| 光源類型 | 氘鹵光源 | 鹵素光源 |
| 波長范圍 | 190-1100nm | 400-1100nm;1000-1700nm |
| 測厚范圍 | 約20nm~50μm(折射率1.5時) | 約50nm~50μm(折射率1.5時) |
| 適配探頭 | UV-VIS | VIS-NIR軸向; VIS-NIR徑向;(標配其一) |
| 可連探頭數量 | 1 | |
| 探頭防護等級 | IP40 | |
| 重復精度 | 0.05nm | |
| 準確度 | <±1nm或±0.3%(取較大值) | |
| 采樣頻率 | Max.100Hz(視求解參數復雜度而定) | |
| 測控軟件 | 專用上位機軟件 | |
| 電源電壓 | 220V±20V50HzAC/ | |
| 功率 | 50W | |
| 工作溫度 | -10至+40℃ | |
| 相對濕度 | 20%至85%RH(無冷凝) | |
| 控制器重量 | 約5000g | |

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