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移動端訪問更便捷品牌介紹:1959年創建于英國牛津,是英國倫敦證交所的上市公司。在五十多年的高速發展過程中,牛津儀器公司憑借自身的科研優勢,以超前的技術、出色的管理和獨樹一幟的產品和服務為的科技發展作出了巨大的貢獻。牛津儀器現已成為世界的科學儀器領域的跨國集團公司,擁有分布于英國、美國、芬蘭、德國和中國的十幾個工廠、數十個分公司和辦事處,業務遍及一百多個國家和地區。
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產品簡介
PlasmaPro 100 Estrelas深硅刻蝕設備旨在提供深硅蝕刻(DSiE)領域的靈活性以滿足微電子機械系統(MEMS)、 優良封裝以及納米技術市場的各種工藝要求。考慮到研究和生產的市場發展,PlasmaPro 100 Estrelas 提供了更加出色的工藝靈活性。
光滑側壁工藝
高刻蝕速率腔刻蝕
高深寬比工藝
錐形通孔刻蝕
廣泛的應用領域
機械或靜電壓盤
加熱內襯
改善重復性
延長了兩次清洗間的平均時間間隔(MTBC)
PlasmaPro 100 Estrelas深硅刻蝕設備特點
硬件設計使同一腔室中可進行Bosch™和超低溫刻蝕工藝,使得納米和微米結構刻蝕均可實現。
兼容50mm至200mm的襯底 - 確保您只需一臺系統,便具備從研發器件到量產的能力
自動匹配 - 擁有工藝靈活性
更高流量的質量流量計以及等離子發生器 - 自由基密度更高
減小的腔體尺寸和高效率的泵 - 確保氣體高速流通
快速近距離耦合質量流量計 - 快速控制(初始為ALD而開發)
關聯品牌
品牌介紹:1959年創建于英國牛津,是英國倫敦證交所的上市公司。在五十多年的高速發展過程中,牛津儀器公司憑借自身的科研優勢,以超前的技術、出色的管理和獨樹一幟的產品和服務為的科技發展作出了巨大的貢獻。牛津儀器現已成為世界的科學儀器領域的跨國集團公司,擁有分布于英國、美國、芬蘭、德國和中國的十幾個工廠、數十個分公司和辦事處,業務遍及一百多個國家和地區。
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您訪問的PlasmaPro 100 Estrelas深硅刻蝕設備產品信息,由華兆科技(廣州)有限公司自行發布提供,產品價格為面議,如您想了解更多關于PlasmaPro 100 Estrelas深硅刻蝕設備型號、參數、用途等信息,歡迎咨詢。
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