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安徽澤攸科技有限公司，是一家具有*自主知識產權的先進裝備制造公司。公司集研發、生產和銷售業務于一體，現有兩個系列核心產品：PicoFemto系列電子顯微鏡原位測量系統ZEPTOOLS系列臺式掃描電子顯微鏡
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絕對式光柵產品參數
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
絕對式光柵詳細信息
SAG21
開機即刻精準，無需原點回歸
12.5nm 分辨率 | 50m/s 超高速度
SAG21 是澤攸科技自主研發的旗艦級絕對式光柵。采用 BiSS C 串行接口與非接觸式光學檢測技術，開機即可直接讀取絕對位置信息，告別電池供電與繁瑣的原點回歸操作。
它專為動態性能而生。支持高達 50m/s 的運行速度與 650m/s2 的加速度。內置 CRC6 循環冗余校驗算法實時保障數據安全，搭配三色 LED 智能診斷指示燈，讓半導體制造與高速直線電機平臺的控制更加從容 。
12.5nm
可選 12.5/25/50/100nm 多種精度模式。
BiSS C
高速串行接口
50m/s
超高速度
全分辨率下均支持 50m/s 穩定運行。
技術規格詳情
| 通用電氣與機械參數 | |
|---|---|
| 供電電壓 | 4.5V ~ 5.5V |
| 最大功耗 | 500mW (典型值 325mW) |
| 工作溫度 | -40℃ 至 +110℃ |
| 最大加速度 | 650m/s2 |
| 線纜長度 | 最大 3m |
| 柵尺選型指南 | ||
|---|---|---|
| 參數 | 鋼帶柵尺 | 玻璃柵尺 |
| 材料 | 不銹鋼 | 玻璃 |
| 尺寸 (高×寬) | 0.4mm × 6mm (含背膠) | 1.1mm × 11.5mm (含背膠) |
| 長度范圍 | 210mm | 126mm |
| 熱膨脹系數 | 10.2 µm/m/℃ | 8 µm/m/℃ |
| 精度 (20℃) | ±10 µm/m | ±5 µm/m |
| 接口信號定義 (9針公頭) | ||
|---|---|---|
| 引腳序號 | 定義 | 描述 |
| 2, 3 | MA+, MA- | 主機時鐘線 (輸入) |
| 7, 8 | SLO+, SLO- | 從機數據線 (輸出) |
| 4 | VDD | 5V 供電 |
| 6 | DGND | 數字地 |
| 1, 5, 9 | NC | 保留 (懸空) |
| 數據格式與分辨率對應表 | |||
|---|---|---|---|
| 數據總位數 | 多圈位數 (MT) | 單圈位數 (ST) | 分辨率 |
| 32位 | 3 | 29位 (15+14) | 12.5nm |
| 32位 | 4 | 28位 (15+13) | 25nm |
| 32位 | 5 | 27位 (15+12) | 50nm |
| 26位 / 32位 | 0 / 6 | 26位 (15+11) | 100nm |
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移動站：絕對式光柵
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