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安徽澤攸科技有限公司，是一家具有*自主知識產(chǎn)權(quán)的先進(jìn)裝備制造公司。公司集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售業(yè)務(wù)于一體，現(xiàn)有兩個(gè)系列核心產(chǎn)品：PicoFemto系列電子顯微鏡原位測量系統(tǒng)ZEPTOOLS系列臺式掃描電子顯微鏡
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增量式光柵產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
增量式光柵詳細(xì)信息
SMG20增量式光柵
微型光學(xué)編碼器的性能巔feng
專為超高真空與工況設(shè)計(jì)
0.5nm 分辨率 | 20µm 柵距
超小封裝，蘊(yùn)含強(qiáng)勁內(nèi)核。
澤攸科技推出的 SMG20 系列，憑借 5mm × 12mm × 21mm 的超緊湊微型封裝結(jié)構(gòu)，重新定義了空間受限場景下的精密測量標(biāo)準(zhǔn)。它采用優(yōu)良的衍射圖像反射式檢測技術(shù)，配合高靈敏度光電二極管檢測器陣列，即使在安裝精度波動的情況下，也能輸出穩(wěn)定的信號。
SMG20 生來強(qiáng)悍，采用耐高溫聚四氟乙烯（特氟龍）外皮線纜與半封閉式設(shè)計(jì)，使其具備極低的放氣率。它不僅能適應(yīng) -40℃ 至 +100℃ 的寬溫域工作環(huán)境，更支持 100℃ 高溫烘烤，是高真空及超高真空精密設(shè)備的理想選擇。
SMG20增量式光柵：
0.5nm
極限分辨率
配合 40000 倍細(xì)分，實(shí)現(xiàn)亞納米級定位。
100℃
高溫烘烤
支持超高真空環(huán)境下的高溫烘烤作業(yè)。
20µm
標(biāo)準(zhǔn)柵距
衍射圖像反射式檢測，抗干擾能力強(qiáng)。
技術(shù)規(guī)格詳情
| 通用電氣與機(jī)械參數(shù) | |
|---|---|
| 供電電壓 | DC 5V ±10% |
| 最大功耗 | 1.2W |
| 工作/存儲溫度 | -40℃至+100℃ (工作) / -20℃至+70℃ (存儲) |
| 真空適配性 | 支持高真空及超高真空，線纜耐受 100℃ 烘烤 |
| 線纜規(guī)格 | 8芯高柔性屏蔽線纜 (鐵氟龍外皮), 外徑 1.9mm |
| 柵距 | 20µm |
| 柵尺選型指南 | ||
|---|---|---|
| 參數(shù) | 鋼帶柵尺 | 玻璃柵尺 |
| 材料 | 不銹鋼 | 玻璃 |
| 尺寸 (高×寬) | 0.4mm × 6mm (含背膠) | 1.2mm/2.4mm × 3.8mm (含背膠) |
| 最大長度 | 1000mm | 80mm (1.2mm厚) / 110mm (2.4mm厚) |
| 熱膨脹系數(shù) | 10.2 µm/m/℃ | 8 µm/m/℃ |
| 精度 (20℃) | ±5 µm/m | ±5 µm/m |
| 接口信號定義 (TF-15 細(xì)分盒 DB15) | ||
|---|---|---|
| 信號類型 | 信號名稱 | 引腳序號 |
| 電源 | 5V / GND | 7, 8 (5V) / 2, 9 (GND) |
| 增量信號 | A+ / A- | 14 / 6 |
| 增量信號 | B+ / B- | 13 / 5 |
| 原點(diǎn)信號 | Z+ / Z- | 12 / 4 |
| 分辨率與細(xì)分特性 (柵距 20µm) | |||
|---|---|---|---|
| 細(xì)分倍數(shù) | 分辨率 | 備注 | |
| 200 | 100 nm | 基礎(chǔ)高精模式 | |
| 1000 | 20 nm | 精密定位模式 | |
| 10000 | 2 nm | 超精微納模式 | |
| 40000 | 0.5 nm | 極限分辨率模式 | |
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