MUEGGE MA4000Y-013BC等離子陣列 低壓微波等離子表面處理系統

MUEGGE MA4000Y-013BC是德國穆格推出的模塊化低壓微波等離子陣列，由4組并行等離子體線組成，適用于大面積表面活化、清洗、刻蝕、灰化、沉積與滅菌處理，是高精度表面改性的一體化解決方案。

德國Muegge

穆格

ME0118P-045AB_SP

ME0100K-181AB_7,5m

MW1006A-210EC_Hb01

MB2568A-110CH

MX3000D-170KL

ME0104M-099AB_3,0m

MH6000S-250BF

MW-PIRE3394-1K-007

一、MA4000Y-013BC技術參數對照表

二、Muegge穆格等離子陣列 MA4000Y-013BC產品優勢與應用領域

MUEGGE MA4000Y-013BC采用高密度低壓微波等離子體技術，集成氣體噴淋頭，等離子分布均勻，處理面積達320×320mm，適合晶圓、光學器件、復合材料、生物材料等大面積表面處理。設備結構緊湊，易于集成到自動化產線，支持O?、N?、H?、Ar、CF?等多種工藝氣體，滿足清洗、活化、去膠、沉積等多場景需求。

該等離子陣列廣泛應用于半導體、光伏、光纖、醫療器材、精密制造等行業，可顯著提升材料表面附著力、清潔度與相容性，是制造表面預處理的關鍵裝備。

北京漢達森機械技術有限公司，田永福。

三、Muegge穆格等離子陣列常見型號與產品列表

MUEGGE MA075KA-019BF常壓等離子源、MUEGGE MA1250D-121BB微波等離子去膠機、MUEGGE MA4000Y-013BC等離子陣列、MUEGGE MS100KI-501DL線性微波電源、MUEGGE MX1250C-113KL開關式微波電源、MUEGGE MH系列磁控管頭、MUEGGE MW系列水負載

四、總結

MUEGGE MA4000Y-013BC以模塊化設計、高均勻性、高效率、易集成為核心優勢，為大面積低壓等離子表面處理提供穩定可靠的方案，是半導體、醫療、光學、新能源行業提升產品品質的重要裝備。

MA075KA-019BF 常壓等離子源

MUEGGE MA075KA-019BF

MUEGGE常壓等離子源

MA075KA-019BF等離子源

915MHz微波等離子源

75kW常壓等離子源

MUEGGE VOC廢氣處理等離子源

MA075KA-019BF技術參數

德國MUEGGE等離子源

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低壓微波等離子源

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MUEGGE MS100KI-501DL

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MUEGGE磁控管驅動電源

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德國MUEGGE微波電源