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內容聲明：
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產品簡介
ETR-IC1000無油爪式真空泵詳細信息
無油爪式真空泵(Yitaer爪式真空泵)是一種高效、環保的真空獲得設備，憑借獨特的結構和性能優勢，廣泛應用于半導體制造、醫藥化工、新能源材料、食品包裝等對潔凈度要求嚴苛的領域。以下從原理、特點等多個維度展開詳細介紹：
一、工作原理
無油爪式真空泵的核心原理是通過一對相互嚙合的爪型轉子，在泵腔內實現氣體的“吸入-壓縮-排出”循環，全程無需潤滑油參與，具體過程如下：
1.結構基礎：泵體內安裝一對平行設置的爪型轉子，轉子由電機驅動同步反向高速旋轉。轉子表面帶有螺旋狀爪齒，兩轉子之間、轉子與泵腔內壁之間保持微小間隙，形成無接觸密封。
2.吸氣階段：當轉子開始旋轉時，爪齒間的容積隨著轉子轉動逐漸擴大，在泵腔進氣口處形成低壓區，被抽容器中的氣體在大氣壓差作用下被吸入爪齒間的密閉容腔。
3.壓縮階段：隨著轉子持續旋轉，爪齒間的容腔沿軸向移動并逐漸縮小，氣體被不斷壓縮，壓力逐步升高。由于轉子間無接觸，壓縮過程依靠容積變化完成，避免了摩擦生熱。
4.排氣階段：當壓縮后的氣體壓力達到排氣閥開啟閾值時，高壓氣體沖破排氣閥排出泵外。同時，新的爪齒容腔繼續進入吸氣階段，形成連續的抽氣循環，最終將被抽系統抽至所需真空度。
二、核心特點
1.無油潔凈，保障工藝純度
-設計：全程無需潤滑油或工作液，杜絕油霧、水汽反流風險，可獲得純凈無雜質的真空環境，尤其適用于半導體晶圓鍍膜、醫藥凍干、精密電子元件封裝等對污染敏感的場景。
-自清潔特性：轉子間的無接觸運轉減少了粉塵、顆粒物的附著，配合泵腔的特殊涂層，進一步降低污染物殘留，延長維護周期。
2.高效節能，運行成本低
-低能耗設計：爪型轉子的結構優化了氣體流動路徑，減少內部回流損失，能量轉換效率比傳統油封泵提升30%以上，長期運行顯著節省電費。
-免維護優勢：無油潤滑系統省去了潤滑油更換、油路清洗等繁瑣操作，日常僅需定期清理進氣過濾器，大幅降低人工和耗材成本。
3.強適應性，應對復雜工況
-寬壓力范圍：支持從大氣壓到極限真空的全范圍穩定運行，可單獨使用，也可與羅茨泵、分子泵組成機組，滿足不同真空需求。
-耐特殊氣體：針對化工領域的腐蝕性氣體（如氯氣、氨氣），可選配陶瓷涂層或不銹鋼材質轉子，抗腐蝕能力強，避免泵體損壞。
-處理可凝性氣體：獨特的壓縮腔設計可有效分離水蒸氣、有機溶劑蒸汽等可凝性氣體，防止冷凝液返流，適用于真空干燥、蒸餾等場景。
4.穩定可靠，使用壽命長
-無接觸運轉：轉子間、轉子與泵腔均無金屬摩擦，僅靠同步齒輪傳遞動力，磨損極小，運行噪音低于60分貝，震動幅度微乎其微。
-過熱保護：內置溫度傳感器和智能控制系統，實時監測泵體溫度，超溫時自動停機，避免因高溫導致的部件老化，延長使用壽命至10萬小時以上。
5.緊湊靈活，適配性強
-模塊化結構：體積小巧，重量輕，可根據空間需求靈活布局，支持立式、臥式安裝，甚至可集成到生產線中。
-智能控制：配備變頻調速功能，可根據負載動態調節轉速，實現精準真空控制，同時減少空載能耗，契合工業4.0智能化趨勢。
6.環保安全，合規無憂
-綠色生產：無廢油、廢水排放，符合歐盟RoHS、REACH等環保指令，助力企業通過ISO14001環境管理體系認證。
-防爆選項：針對易燃易爆氣體（如氫氣、甲烷），提供ATEX認證的防爆機型，消除安全隱患，適用于石油化工等高危領域。
三、典型應用領域
-半導體制造：晶圓蝕刻、CVD鍍膜、離子注入等工藝中的高潔凈真空環境構建。
-醫藥化工：藥物合成、真空蒸餾、凍干機配套，確保藥品純度。
-新能源材料：鋰電池電極干燥、光伏硅片處理，避免油污影響材料性能。
-食品包裝：真空包裝機、氣調保鮮設備，延長食品保質期。
四、總結
無油爪式真空泵以“無油潔凈、高效節能、穩定耐用”為核心價值，突破了傳統油泵的污染瓶頸，兼具環保性和經濟性。其獨特的爪型轉子設計和智能控制系統，使其成為制造業升級的關鍵設備，為追求高品質、低成本生產的企業提供了理想的真空解決方案。
規格參數
| 參數 | 單位 | ETR-IC1000 |
|---|---|---|
| 流量 | m3/h | 1000 |
| 極限壓力(水冷) | mpa | -0.094 |
| 電機功率 | Kw | 22 |
| 馬達轉速 | rpm | 2900 |
| 噪聲 | dB（A） | 82 |
| 進氣口 | mm | G3" |
| 排氣口 | mm | G2" |
| 油量 | L | 2.5 |
| 重量 | Kg | 450 |
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