一、品牌核心優勢

1. 無油干式結構：無油污染，真空潔凈度高，滿足半導體 SEMI?S2、CE、NRTL 行業標準

2. 耐腐蝕能力強：標配 / 可選 Ni?Resist 耐蝕材質，適配 HCl、HI、氟化物、氯氣等強腐蝕氣體，適配碳化硅 SiC、化合物半導體工藝

3. 節能穩定：專屬轉子設計 + 怠速休眠模式，同級別節能 30%+，50/60Hz 頻率下抽氣性能一致

4. 低振動低噪音：無接觸式轉子，振動小、噪音低，適配精密實驗室、產線

5. 全系列覆蓋：從小型風冷泵到大型水冷螺桿泵，抽速 50~80000L/min 全覆蓋

二、主流產品系列（干式真空泵，核心型號）

1. EV?SA 系列（小型風冷羅茨干泵，輕制程優選）

• 代表型號：EV?SA20

• 特點：風冷無需水冷、無接觸免維護、高水汽耐受、超小型、低能耗、內置智能控制器

• 抽速：200~2000L/min

• 應用：Load?Lock、PVD、SEM、分析儀器（LC?MS/GC?MS）、實驗室、小型半導體設備

2. ESR 系列（緊湊型節能干泵，耐腐蝕）

• 代表型號：ESR20N、ESR30N、ESR500W

• 特點：小型占地、低功耗、可選耐蝕材質、適配輕負載～中腐蝕工藝

• 抽速：500~5000L/min

• 應用：Load?Lock、離子注入、輕腐蝕刻蝕、半導體輔助真空、科研設備

3. EV?X 系列（中高模塊化干泵，新一代主力）

• 特點：寬溫域控制、模塊化設計、長維護周期、抗腐蝕、適配多工藝通用、TCoO 使用成本低

• 應用：半導體刻蝕、CVD、灰化、離子注入、外延工藝、SiC 碳化硅產線

4. EV?M 系列（羅茨干式泵，中大型半導體主力）

• 代表型號：EV?M20N、M102N、M202N、M302N、M502N

• 抽速：1800~50000L/min

• 特點：極限真空≤5Pa，強耐氟 / 氯腐蝕，水冷穩定

• 應用：刻蝕、CVD、薄膜沉積、半導體核心制程

5. ESA 系列（大流量螺桿干泵，大型腔體 / 光伏 / MOCVD）

• 代表型號：ESA15?D、ESA25?D、ESA70W、ESA300W、ESA700W

• 抽速：1400~80000L/min

• 特點：大抽速、快速抽空、適配氫氣 / 輕氣體、有機溶劑排氣、低振動

• 應用：MOCVD、大型 Load?Lock、LCD 濺射、光伏、真空干燥、外延設備

三、核心技術與材質

1. 轉子類型：羅茨式（中小抽速）、螺桿式（大抽速），無接觸無磨損

2. 耐蝕材質：Ni?Resist 鎳基耐蝕鑄鐵、特殊涂層，適配氯化氫、碘化氫、碘蒸氣等 SiC / 第三代半導體強腐蝕氣體

3. 冷卻方式：風冷（小型）、水冷（中大型）

4. 極限真空：0.5~5Pa，滿足半導體超高潔凈真空要求

四、主要應用行業 & 工藝

1. 半導體（核心）：刻蝕、CVD/PVD、離子注入、外延、退火、Load?Lock、SiC 碳化硅、化合物半導體

2. 新能源光伏：MOCVD、薄膜沉積、真空鍍膜

3. 化工精密制造：腐蝕性氣體抽取、真空干燥、溶劑回收

4. 科研 / 分析：電子顯微鏡、質譜儀、真空鍍膜、空間模擬

五、對比優勢（對標萊寶、愛德華）

• 荏原：日系穩定、耐腐蝕性更強、適配 SiC / 腐蝕工藝更優、維護周期更長

• 愛德華 / 萊寶：歐美主流，通用性強，但腐蝕工況荏原適配性更好