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H 系列 FDC-H1510 采用桌面型緊湊設計，尺寸為 W500×D620×H280 毫米，可輕松放置于實驗室或研發車間，不占用過多空間。設備支持 6 英寸晶圓的全面測量，同時可實現局部厚度高分辨率檢測，空間分辨率約 5 微米，膜厚測量范圍為 100 納米至 10 微米，重復再現性 3σ＜1.0 納米，確保測量數據的高精度與穩定性。局部測量僅需約 30 秒，全面測量約 10 分鐘即可完成，大幅提升檢測效率，滿足研發與小批量生產的需求。