中圖儀器PLR3000納米級光纖激光尺，一站式位置反饋方案。

【半導體/光刻/航空航天核心應用場景】

PLR3000光纖激光尺專為超高精度位置反饋打造，是半導體光刻、航空航天、微機械加工的核心測量設備。

· 可實現光刻機工作臺多自由度納米定位，保障晶圓套刻精度；

· 適配航空航天大型構件長距離測量，兼顧4m大量程與納米級精度；

· 也可用于微光學、微電子器件的超精密加工定位，解決傳統測量設備精度不足、環境適配差的痛點。

非接觸式測量、多軸同步輸出，一站式滿足制造全場景精度需求，助力企業提升良品率與生產穩定性。

【精密機床/微機械全場景應用】

針對超精密機床、微機械加工行業痛點，PLR3000光纖激光尺提供閉環位置反饋與實時測量雙重能力。

· 搭載平面鏡干涉探頭，可精準反饋機床刀頭位置，配合環境補償單元，車間溫濕度波動下仍保持0.2~0.5ppm線性精度；

· 體積小巧適配狹小安裝空間，大幅降低阿貝誤差，適配微機械、精密儀器加工的嚴苛安裝要求。

一臺設備覆蓋精密加工全場景，替代傳統鋼帶尺、玻璃光柵，實現加工精度與效率雙提升。

【技術參數】

PLR3000納米級光纖激光尺以硬核技術參數，定義超精密測量標準：

1.穩頻精度最高0.02ppm，1米行程頻率波動誤差僅0.02μm

2.線性測量精度0.2~0.5ppm，4m量程最大誤差僅0.8μm

3.標準分辨率10nm，最高可拓至0.5nm，原子級感知細微位移

4.最大量程4m可拓展，輸出刷新速率0.3125~20MHz可調

5.主機探頭分離，3m鎧裝光纖傳輸，熱源隔離更穩定

所有參數均基于激光干涉原理實測，符合制造計量溯源要求，為企業提供精準測量基準。立即咨詢，免費獲取專屬方案！

注：產品參數與服務可能根據技術升級實時更新，具體以新標準為準，詳情可咨詢客服獲取完整資料。