日本 DIC  溶劑用脫氣模組

日本 DIC  溶劑用脫氣模組這款脫氣模組是日本 DIC 針對半導體、LCD 制造中高腐蝕性藥液脫氣需求開發的高性能產品，以全氟樹脂接液設計和 PTFE 中空纖維膜技術，解決了傳統脫氣設備不耐腐蝕、易堵塞的問題，為精密工藝流體提供可靠的低氣泡解決方案。

核心脫氣原理

• 接液部分全為氟樹脂材質，耐酸、堿及有機溶劑腐蝕，適配光刻膠、溶劑等工藝流體。

• 液體在膜管內流動，不易被雜質堵塞，支持反向清洗，延長模組使用壽命。

• 真空側抽氣效率高，可實現高效脫氣，滿足半導體工藝對流體含氣量的嚴苛要求。

技術優勢

• 高耐腐蝕性：采用 PTFE 脫氣膜與全氟樹脂接液結構，可安全處理酸、堿及有機溶劑，適配半導體工藝中的各類藥液。

• 高效脫氣性能：通過內部灌流設計與真空抽氣，可將液體中溶解氣體濃度降至工藝要求級別，減少氣泡對工藝的影響。

• 低壓力損失：部分型號優化了流道設計，降低了流體通過模組的壓力損失，減少系統能耗。

• 寬流量適配：系列覆蓋 1~500mL/min 的流量范圍，可根據不同工藝需求選擇合適型號。

• 易維護性：內部灌流結構不易堵塞，支持反向清洗，便于在工業現場維護。

典型應用場景

• 半導體 / LCD 制造：光刻膠、溶劑、藥液的脫氣 / 脫泡，減少氣泡對曝光、涂布工藝的影響。

• 噴墨打印：溶劑系噴墨墨水脫氣，防止噴頭堵塞和打印質量問題。

• 精密分析：腐蝕性流體的脫氣處理，提高分析儀器的測量精度。

核心規格一覽