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產(chǎn)品介紹（核心技術(shù)亮點(diǎn)）

1. 鏡筒內(nèi)電子束減速技術(shù)

搭載鏡筒內(nèi)減速技術(shù)，在極低著陸電壓下仍可以有效控制像差，提供超高分辨成像水平。

2. “三物鏡” 技術(shù)

物鏡系統(tǒng)由兩組電磁透鏡和一組靜電透鏡組成，三組物鏡均可獨(dú)立控制并任意組合以聚焦電子束；三種物鏡的靈活組合可以應(yīng)對更加多樣的觀測場景，用戶在不改變工作距離的前提下即可實(shí)現(xiàn)一鍵全自動切換超大視野、超大景深、超高分辨等多種成像模式。

3. MD 多功能能量選擇探測器

可同時收集 SE、中角度 BSE 信號，生成同時展示形貌襯度與成分襯度、突出樣品表面輪廓的圖像；能量濾波網(wǎng)格設(shè)計(jì)，SE 信號、BSE 信號（<4000eV）可被濾掉，增強(qiáng)樣品表面特征的 BSE 襯度。

技術(shù)參數(shù)與優(yōu)勢

參數(shù)項(xiàng)規(guī)格說明

電子槍高亮度肖特基電子槍

鏡筒技術(shù)鏡筒內(nèi)減速技術(shù)；“三物鏡” 技術(shù)（雙組磁透鏡，單組電透鏡）

分辨率高真空：0.6nm@15kV；1.1nm@1kV；1.2nm@500V

放大倍率×2 ~ ×2,000,000

可成像電壓10V

束流1pA-400nA，連續(xù)可調(diào)

最大成像視野≥80mm

樣品臺行程X=130mm, Y=130mm, Z=100mm

樣品臺傾斜角度-70° ~ +90°

電子槍極限真空< 5×10??Pa

主倉室極限真空< 5×10??Pa

換樣時間< 3.5 分鐘

整機(jī)尺寸 / 重量L×W×H: 760mm×960mm×1850mm；750kg

儀器特點(diǎn)

1. 超高分辨能力

旗艦級場發(fā)射電子光學(xué)鏡筒

最高分辨能力可達(dá) 1.1nm@1kV，0.6nm@15kV

2. 鏡筒內(nèi)減速

配備鏡筒內(nèi)減速技術(shù)，可提供低至 10V 的超低能量超高分辨成像能力，輕松觀察樣品極表面細(xì)節(jié)

絕緣樣品、不耐輻照樣品、磁性樣品均可穩(wěn)定觀測

3. 多模式一鍵切換（原文未展示，按現(xiàn)有內(nèi)容整理）

支持超大視野、超大景深、超高分辨等多種成像模式一鍵切換，無需調(diào)整工作距離，適配多樣觀測場景。