產品介紹（核心技術亮點）

1. 高亮度場發射電子槍技術

肖特基高亮度熱場發射電子槍，最高可提供 400nA 落點電流，兼顧顯微成像的分辨能力和物相分析的檢測效率。

2. “雙物鏡” 技術

FE-1050T 的物鏡系統由兩組可以獨立控制的電磁透鏡組成，使用時可以根據用戶的觀測需求自動調整物鏡組合方式，輕松應對大視野、高景深、高分辨等多種觀測場景。

3. 低真空技術

標配 30Pa 低真空，幾乎所有不導電類樣品都可以直接觀測，無需做導電性處理。* 可選配最高 500Pa 的倉室真空度

技術參數與優勢

參數項規格說明

電子槍高亮度肖特基電子槍

鏡筒技術“雙物鏡” 技術（近遠雙磁透鏡）

分辨率高真空：0.7nm@15kV；1.3nm@1kV低真空：2.0nm@15kV

放大倍率×2 ~ ×1,000,000

可成像電壓10V

束流1pA-400nA，連續可調

最大成像視野≥80mm

樣品臺行程X=130mm, Y=130mm, Z=100mm

樣品臺傾斜角度-70° ~ +90°

電子槍極限真空< 5×10??Pa

主倉室極限真空< 5×10??Pa

換樣時間< 3.5 分鐘

整機尺寸 / 重量L×W×H: 760mm×960mm×1850mm；700kg

儀器特點

1. 高分辨機型

高分辨場發射電子光學鏡筒，分辨能力可達 1.3nm@1kV，0.7nm@15kV。

2. 多工作模式

支持大視野、大景深、高分辨、大束流等多種工作模式。

3. 簡單易上手

配備簡單易懂的操作界面，新手也可以輕松駕馭這款高性能場發射電鏡。