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日本EBARA荏原最早創立于1912年，正式成立于1920年，總部位于日本東京，是一家擁有百年歷史的日本企業。主要產品品種有泵、制冷機、冷卻塔、風機、渦輪機、垃圾焚燒設施、真空泵、CMP設備、廢棄處理設備、電鍍設備等。
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華南一級代理EBARA荏原 羅茨型干泵產品參數
| 供貨周期 | 現貨 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
華南一級代理EBARA荏原 羅茨型干泵詳細信息
華南一級代理EBARA荏原 羅茨型干泵
華南一級代理EBARA荏原 羅茨型干泵
二、型號與核心參數（半導體常用）
EV?SA（標準輕量型，）
EV?SA20：抽速1,670 L/min，極限真空3 Pa（氣鎮關），功率0.45 kW，尺寸324×584×347 mm，重量65 kg。
EV?SA30：抽速3,300 L/min，極限真空2 Pa，功率0.45 kW，重量90 kg。
EV?SA50：抽速5,000 L/min，極限真空0.5 Pa，功率0.5 kW，重量150 kg。
EV?S（大抽速 / 耐腐蝕型）
EV?S100：抽速10,000 L/min，極限真空0.5 Pa。
EV?S200：抽速20,000 L/min，極限真空0.5 Pa。
后綴說明：N = 鎳合金耐腐蝕；P = 氮氣吹掃（適配輕微腐蝕）。
三、關鍵特點（對比 EV?X/EV?M）
風冷免水冷：無需冷卻水，安裝極簡、能耗更低、無漏水風險。
超低能耗：極限壓力功耗0.45–0.65 kW，比同規格螺桿泵省 50%+；怠速模式進一步節能。
超緊湊輕量化：EV?SA20 僅65 kg，占地約為 EV?X 的1/3，Sub?Fab / 設備內置友好。
高潔凈低脈動：羅茨轉子 + 精密動平衡，振動 **<0.1 mm**、噪音 **<55 dB**，零油污染，適配 EUV / 高潔凈腔室。
智能免維護：內置溫度 / 振動 / 電流傳感器，MTBF>5 萬小時；LCD 控制器帶預警 / 數據記錄，支持Modbus遠程監控。
靈活配置：標準316L；N 型鎳合金耐輕微鹵素；P 型氮氣吹掃防粉塵 / 副產物沉積。
四、半導體核心應用（輕負荷 / 高潔凈）
Load?Lock（真空鎖）：最主流，EV?SA20標配，快速粗抽、低振動、高潔凈。
PVD / 濺射：濺射腔主抽，低脈動保證膜層均勻。
EUV 前級：超高真空系統前級粗抽，低振動 + 零油污染關鍵。
離子注入（中真空段）：EV?SA30/50，穩定抽除惰性氣體。
檢測 / 量測設備：SEM、FIB、電子顯微鏡、分析儀器（LC?MS/GC?MS）。
小型 CVD / 灰化：低功率、輕腐蝕制程。
五、與 EV?X/EV?M 的區別（選型關鍵）
| 系列 | 泵型 | 冷卻 | 負荷 | 抽速 | 極限真空 | 典型應用 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV?SA | 羅茨 | 風冷 | 輕 | 1,670–5,000 L/min | 0.5–3 Pa | Load?Lock、PVD、EUV 前級 |
| EV?X | 螺桿 | 水冷 | 中 | 3,000–30,000 L/min | 0.5 Pa | 刻蝕、CVD、灰化（主力） |
| EV?M | 羅茨 / 螺桿 | 水冷 | 重 | 1,800–50,000 L/min | ≤5 Pa | 強腐蝕刻蝕、MOCVD、外延 |
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