一、 產品優勢

1) 非接觸、快速靈活的光機電一體化檢測系統

2) 設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

3) 設備具備自動拼接功能，能夠快速實現大區域的拼接縫合測量；

4) 設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能；

5) 設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

6) 設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

7) 設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現批量數據文件的快速分析功能；

二、 性能特色

1：產品特點

①　表征微觀形貌的粗糙度測量；

②　臺階?、?度等輪廓尺?測量；

③　?動對焦、?動找條紋、?動調亮度等?動化輔助功能；

④　校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等數據處理功能；

⑤　對?分析和多?件分析等輔助分析功能。

2：測量

(1) ?接觸性測量: ?損傷地獲取表?形貌信息;

(2) ?精度: 粗糙度/輪廓信息測量精度1nm

(3) 快速測量: 快速對焦、快速掃描、快速重建處理;

(4) 穩定性: 良好的抗振和抗?擾能?，適應復雜的?作環境;

3：分析

①　數據的可視化： 提供直觀的數據可視化展?供直接觀察?涉圖案和測量結果。

②　同時，也?持數據導出到常?的?件格式，?便進?進?步的數據分析

③　強?的數據分析功能： 通過圖像處理算法和?級分析軟件，??可以進?相位提取、表?拓撲分析、

④　薄膜厚度計算等多項分析，從?實現更詳盡的測試結果和更全?的表征

三、技術指標

1.技術規格表

*1 在實驗室環境下使用50X物鏡測量4.7µm標準臺階樣塊。

*2 在實驗室環境下使用50X物鏡測量標準刻線樣板。