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近年來，美辛輝的產品已經能夠為各個領域的客戶做出貢獻。有液晶，有機EL，電池相關，半導體和空間業務等各種應用。真空技術仍然是一個可以廣泛使用的領域。我們期待您繼續惠顧我們的產品。此外，牢記創始人平澤美奈子的公司座右銘，“讓我們保持交貨日期并擴大信任”，我們將繼續以可靠的技術和開發能力為客戶提供各種各樣的產品。
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MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列產品參數
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列詳細信息
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
GAR：低塵精密伺服閘板式真空調節閥
法蘭代碼
N：KF/NW 快裝法蘭（DN25~250 小型腔體）
J：JIS 日標法蘭（半導體設備主力，DN25~400）
I：ISO-F 大法蘭（大型鍍膜、擴散爐 DN80~400）
C：CF 刀口金屬法蘭（超高真空無油腔體 DN25~150）
數字：公稱通徑 A (DN)
后綴 B（標準標配）：內置電磁剎車，斷電鎖死當前開度，防止腔體泄壓報廢晶圓
示例：
GAR-J100B：JIS100 法蘭半導體標準伺服調壓閥
GAR-I300B：ISO300 大口徑量產沉積設備主抽控制閥
GAR-C80B：CF80 超高真空可烘烤高純腔體調節閥
核心應用場景（僅限高純真空工藝）
半導體晶圓制造（核心場景）
8/12 寸刻蝕機、PVD 磁控濺射、CVD 薄膜沉積、離子注入、ALD 原子層沉積腔體，工藝載氣精密穩壓、防止斷電泄壓損傷晶圓
先進顯示 / OLED 制造
Mini/Micro OLED 蒸鍍、LTPS 薄膜設備高純真空腔體流量調節
科研超高真空精密設備
電子束曝光、分子束外延 MBE、超高真空表面分析腔體
特種光學鍍膜
高精度光學鏡頭、紅外薄膜、半導體靶材鍍膜，嚴控顆粒與壓力波動
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內容聲明：
您訪問的MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列產品信息，由玉崎科學儀器（深圳）有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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