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是一家主要從事流體輸送設備、加藥系統、水質檢測分析及真空設備銷售與維護的企業，主要經營以下產品：氣動隔膜泵、加藥計量泵、粘度計、流量計、在線水質分析儀表以及各類真空泵類、檢漏設備等；產品*，價格公道。我司所提供的產品廣泛應用在水處理、化工、涂料、食品、制藥、金屬加工及半導體等行業，公司擁有專業的售后服務人員及檢測設備，為用戶長期提供各類設備的檢測、保養、維修服務。
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高負荷濺射專用低溫泵 ULVAC 愛發科產品參數
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產業,石油,能源,電子/電池,電氣 |
高負荷濺射專用低溫泵 ULVAC 愛發科詳細信息
高負荷濺射專用低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U20P
高負荷濺射專用低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U20P
設備規格參數詳情
CRYO-U20P 低溫泵采用一體化立式筒式整機結構，整機尺寸面向半導體大尺寸晶圓、高世代顯示面板、大型批量式沉積腔體配套開發，出廠配備行業通用超大口徑標準真空法蘭，可直接對接同規格真空管路腔體，無需額外定制轉接配件，同系列機型法蘭接口可互通替換，方便產線設備升級改造。內部搭載適配高氬氣負荷工況的大功率強化雙級 GM 制冷機芯，搭配雙通道獨立高精度溫度監測模組，可分別采集 80K 屏蔽筒與 15K 低溫吸附板實時溫度，完整直觀呈現整機制冷運行工況，便于操作人員實時監控設備運行狀態。配套原廠大功率分體式制冷壓縮機，柔性金屬連接管路適配廠房大范圍設備擺放間距，多泵并聯布局時管路排布靈活，不受產線層高、工位間距約束。整機適配通用工業供電標準，內部電氣組件增設多層絕緣防護結構，運行功率長期維持平穩區間，不存在瞬時功率大幅波動現象。設備空載降溫至標準工作低溫區間具備固定標準時長，適配 50Hz、60Hz 兩種供電工況，單次再生流程操作標準化，內部吸附腔體容積大幅擴容，氬氣總存儲容量達到 5.8×10?Pa?L，氬氣最大耐受流量 1.1×103Pa?L/s，氫氣耐受流量 5.0×102Pa?L/s，氮氣抽速 10000L/s、氫氣抽速 18000L/s、氬氣抽速 8400L/s、水汽抽速 29000L/s，極限真空可達 10??Pa，可承受長時間持續通入大流量工藝氬氣，支撐超長時間不間斷真空作業。整機外殼選用耐腐蝕金屬材質，適配潔凈量產車間與恒溫科研實驗室環境，出廠配備全套標準化固定安裝配件，可選配套支撐底座簡化吊裝轉運，無需單獨采購輔助固定構件，多機組并聯運行可進一步提升大型腔體整體抽氣效率，適配多工位超大容積濺射沉積設備配套使用。
核心結構與性能特點詳情
該款低溫泵以兩段式 GM 閉環大功率制冷架構作為核心實現氣體冷凝吸附作業，設備內部設置分層兩級低溫吸附結構，一級 80K 屏蔽筒優先捕捉水汽、大分子雜質，依靠超大水汽抽速快速清除腔體內部水汽殘留，避免水汽雜質干擾薄膜成型質量；二級 15K 低溫板搭配加厚專用吸附層，針對濺射工藝高頻使用的氬氣、氫氣、氮氣分層捕獲，整套抽氣流程全程不使用潤滑油脂，從根源杜絕油蒸汽返流污染真空腔體，滿足大尺寸晶圓、高世代顯示基板鍍膜對真空潔凈度的嚴苛標準。機型針對濺射持續通入氬氣的高負荷量產工況重構內部氣流通道與吸附倉結構，提升氬氣持續流通耐受上限，同步強化氫氣吸附容納能力，適配反應濺射、含氫介質薄膜沉積等特殊制程，即便長時間持續釋放工藝氣體，也能穩定維持標準抽氣速率，有效拉長兩次再生操作的間隔時長，大幅減少停機維護頻次，降低量產中斷帶來的產能損耗。機身在保留超大容量吸附倉的同時完成輕量化緊湊優化，摒棄傳統超大抽速低溫泵厚重笨重框架結構，整機自重控制在合理區間，可實現豎直、傾斜、倒置等多種非常規姿態安裝，不受濺射腔體外形、腔體擺放高度與自動化產線布局約束。設備運行階段壓縮機產生的振動經由多層緩沖結構充分衰減，傳遞至泵體的振動幅度極低，整機運行噪音維持低位區間，不會干擾車間膜厚檢測、光學均勻度測量等高精度儀器正常工作。雙通道溫控組件不間斷監測兩級冷頭溫度，溫度出現異常波動時可直觀反饋設備工況，方便操作人員提前預判吸附飽和節點，合理規劃再生停機時間。機身內部零部件采用模塊化規整排布，僅拆除外部防護護罩即可接觸全部核心組件，清潔、檢修整體操作步驟精簡，降低現場操作人員作業門檻，多泵并聯運行模式還可分攤單臺設備氣體負載，進一步延長整機長期使用壽命。
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