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日本MIYUKI美幸輝伺服閘板式真空調節閥

日本MIYUKI美幸輝伺服閘板式真空調節閥

一、產品簡介

GAR-J300是日本MIYUKI（美幸輝）旗下一款高性能真空調節閥。根據現有資料，它更可能屬于閘閥（Gate Valve）結構，而非蝶閥。其核心定位是用于高真空環境下的精確流量調節與通斷控制，而非簡單開關。產品特點是排氣特性優異，采用SUS304不銹鋼研磨板材料，有效減少了內表面的氣體釋放，適合半導體、真空鍍膜等對潔凈度要求嚴苛的制程。

二、關鍵參數

項目規格參數

驅動方式電動伺服（具體伺服品牌未見詳細說明）

適用口徑300A（JIS標準）

工作壓力范圍10? Pa ~ 10?? Pa（大氣壓至高真空）

內部漏率（閥座）≤ 1×10?1? Pa·m3/s

外部漏率（軸封）≤ 1×10?1? Pa·m3/s

氣體接觸材質SUS304不銹鋼

閥體密封件氟橡膠O型圈

耐熱溫度本體：150°C；電機：40°C

停電時閥門狀態停止（制動鎖止），可實現全閉密封

三、總結

GAR-J300是一款專為大型真空系統設計的精密控制閥，其核心優勢在于兼顧了大流量通斷與高精度調節，并且采用了低釋氣、低顆粒的設計結構，確保了真空環境的潔凈度。其斷電鎖止功能也為系統安全提供了重要保障，是真空工藝中實現精確壓力控制的理想選擇。

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