知識小課堂！日本KITZ開滋 高速重型隔膜閥 TDF8CS-GA-S-EP-316L

項目規格

閥體形狀兩通直動閥

尺寸1.5"

連接方式C型密封

Cv值 (200°C)0.5

低使用流體溫度 (°C)80

高使用流體溫度 (°C)220

低環境溫度 (°C)20

高環境溫度 (°C)130

高使用壓力 (MPa)0.7

驅動方式NC（常閉）

閥座材質PFA

等級EP

閥體材質316L

傳感器無

TDF系列是一款高純度氣體兼容閥門，結合了高速開閉、高耐久性、耐熱性和碳伏穩定性，這些特性適用于ALD（原子層沉積）工藝。

特點

開合快，響應穩定性高

在實現耐久性后，閥門響應時間為18毫秒*，響應穩定性為±2毫秒*。

兼容高溫流體

其結構降低了對執行器的熱傳導，適用于高溫流體，溫度可達220°C。配備電磁閥和傳感器時可達200°C

穩定Cv值

通過采用考慮熱效應和座椅材料的結構，我們成功獲得了220°C下的CV0.5*。初始值與Cv值的誤差，波動率±5%或更低

高耐久性

里用我們的專有技術，我們在220°C高溫流體中實現了超過，4000萬倍的耐久性和超過1億倍的耐久性測試結果。

測試結果（測試條件）液體：N2，封裝壓力：0.25MPa（G），接觸氣體溫度：220°C

中崎目前已獲得NPM脈沖、FANUC發那科、日本SR，日本SAKAE思博，日本ENDO遠藤、NITTO KOHKI日東工器，SUZUKI超聲波切割機，GRAPHTEC圖技，JST日壓，AND愛安德，TRUSCO中山，ASONE亞速旺，TOA-DKK 東亞電波，ATAGO愛拓，HOZAN寶山，FUNATECH船越龍，VESSEL威威，HEIDON新東科學，HIOS好握速，SIBATA柴田科學，HORIBA堀場，   ONOSOKKI小野，KETT凱特，日本CKD，日本妙德CONVUM，HAKKO白光，SSD西西蒂，MALCOM馬康，MUSASHI武藏， AMADA米亞基，MECT麥特，Mitutoyo三豐，PISCO匹士克等多家品牌認證。