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日本理研RIKEN KEIKI 泵吸式復合氣體檢測儀

基礎核心參數

1. 檢測方式：內置泵吸式主動采樣，標準采樣流量 0.6L/min

2. 通道配置：單臺機身最大四路獨立檢測通道，每通道獨立傳感、獨立報警輸出

3. 適配傳感原理：定電位電解式、陶瓷式、熱線半導體式、催化燃燒式

4. 可測工藝氣體：O?、可燃 CH?、SiH?、PH?、HCl、NH?、Cl?、SO?、NO、HF、H?、D?等二十余種半導體特氣

5. 報警機制：每通道兩級濃度報警，支持自鎖 / 自動復位兩種模式，無源觸點開關輸出

6. 通訊供電細分型號

• GD-84D / GD-84D-EC：僅 4-20mA 模擬信號，DC24V 直流供電

• GD-84D-EA / GD-84D-EA-EC：4-20mA + 以太網 PoE 雙輸出，DC24V/PoE 雙供電

• GD-84D-ET / GD-84D-ET-EC：僅以太網 PoE 數字通訊，PoE 獨立供電后綴 EC 代表僅適配電解式傳感器，無后綴可兼容全類型傳感元件理研計器株...

7. 通訊規格：以太網 10/100BASE-TX，PoE + 供電；模擬兩線制 4-20mA，負載≤300Ω

8. 管路接口：Rc1/4 標準螺紋，適配外徑 6mm 特氣管路

9. 自診斷項目：傳感器劣化、采樣泵斷線、管路流量不足、機身過熱、供電故障

10. 顯示面板：全點陣白色背光液晶屏，同步顯示四路濃度、流量、通訊、報警狀態

11. 整機尺寸 & 重量

• 4-20mA/EA 款：150×190×146mm，約 1.9kg

• ET 純網口款：150×183×140mm，約 1.4kg

12. 工作溫濕度：-10℃～+40℃，20～90% RH 無結露

13. 安全規格：非防爆機身，符合 CE EMC、RoHS 環保指令

14. 標配組件：GD-84D 主機、Rc1/4 管路轉接頭、DC24V 供電端子套件、出廠四路傳感精度溯源校準證書、雙語半導體特氣運維說明書、泵體管路專用無塵吹掃清潔耗材

日本理研RIKEN KEIKI 泵吸式復合氣體檢測儀

核心功能特點

1. 四通道一體化集成設計，單臺替代四臺單通道探測器，取樣管路、供電線纜、通訊布線施工成本降至原 1/4，大幅節省氣瓶柜內部安裝空間。

2. 內置恒流采樣泵穩定 0.6L/min 流量，密閉氣瓶、負壓尾氣管路均可穩定抽取氣體，不受現場氣壓波動影響，不會出現取樣不足漏檢問題。

3. 多類型傳感器通用兼容，同一機身可自由搭配氧氣、可燃、劇毒腐蝕類特氣模組，可根據產線氣體品類靈活更換通道傳感元件。

4. 雙級獨立報警觸點，每路氣體高低濃度分開輸出，可分別聯動車間聲光報警器、排風風機、設備緊急停機回路，分級處置泄漏風險。

5. 完整全維度自診斷系統，自動識別傳感器壽命到期、管路堵塞、泵體停轉、供電異常，故障黃燈彈窗提示，提前預警避免監測失效。

6. PoE 以太網供電通訊二合一，單根網線同時供電 + 數據傳輸，無需單獨鋪設電源線，簡化車間機柜布線布局，網頁端遠程查看全部監測歷史。

7. 本地存儲完整事件日志，包含濃度曲線、報警觸發記錄、傳感器校準記錄、故障記錄，斷電后數據長期保存不丟失。

8. 白色背光點陣大屏，無塵車間昏暗柜體內部讀數清晰，四路數據分區獨立顯示，多路泄漏可快速區分故障通道。

9. 壁掛輕量化殼體設計，可直接固定氣瓶柜內壁、通風箱體側邊，無需額外大型安裝支架，改造適配簡易。

10. 半導體安全生產完整臺賬歸檔，四路實時濃度、報警時序、校準周期統一記錄，長期管控特氣微量泄漏、管路老化車間安全隱患。

11. 管路積塵、泵體衰減狀態可通過自診斷快速排查，配套吹掃清潔耗材維護后即可恢復標準采樣精度，無需整機返廠檢修。

適用場景

1. 半導體晶圓工廠：各類特種工藝氣瓶柜、刻蝕 / 沉積設備尾氣多路同步泄漏在線監測。

2. 光伏面板制造車間：硅烷、磷烷、氨氣等摻雜特氣管路持續安全檢漏。

3. 電子潔凈實驗室：混合特種氣體多路配比實驗柜微量泄漏實時監控。

4. 特氣設備集成商：標準氣瓶配套集成式多路監測系統核心探測主機。

5. 半導體第三方安全檢測機構、工廠特氣安全體系驗收、多路氣體監測標準比對。