日本 ONOSOKKI 小野 電容式非接觸厚度儀 日本 ONOSOKKI 小野 電容式非接觸厚度儀

1. 產(chǎn)品概述

CL-5610 系列是小野測器推出電容式非接觸厚度測量主機(jī)，搭配 VE 系列電容間隙傳感器使用。

設(shè)備分為兩款機(jī)型：

CL-5610：放大器內(nèi)置，傳感器線纜長度固定 1.5m，適合實驗室桌面離線檢測；

CL-5610S：放大器獨立外置，主機(jī)與放大器標(biāo)準(zhǔn)線纜 2.5m，最長可拓展至 10m，便于自動化設(shè)備內(nèi)嵌集成。

整機(jī)支持雙路傳感器接入，既可對置測厚度，也可單獨作為雙通道間隙監(jiān)測儀使用。

2. 測量原理

? 導(dǎo)體 / 半導(dǎo)體測量：上下兩只電容傳感器對向布置，分別采集傳感器與樣品上下表面間隙，通過傳感器基準(zhǔn)間距差值運算得出厚度；

? 絕緣體測量（選配 CL-0300）：單傳感器搭配金屬基準(zhǔn)底板，依托材料介電常數(shù)完成薄膜、薄片厚度求解。

3. 核心功能亮點

? 多材質(zhì)兼容測量

標(biāo)準(zhǔn)可測導(dǎo)體、半導(dǎo)體；加裝 CL-0300 選件可測量塑料薄膜、玻璃、樹脂等絕緣體。

? 高阻抗接地模式（CL-0210 選配）

針對氟涂層臺面、難以大面積接地的樣品，縮小接地接觸面積，依然保證測量穩(wěn)定。

? 高分辨率演算功能（CL-0200 選配）

標(biāo)準(zhǔn)精度 ±0.15% FS；開啟選件可達(dá) ±0.12% FS；最小顯示分辨率低至 0.02μm。

? 雙通道架構(gòu)，用途靈活

2 路傳感器輸入，支持厚度測量、單點間隙、差值 A-B、最大 / 最小值、波動區(qū)間 RANGE 運算。

? 豐富對外通訊與輸出

標(biāo)配 RS-232，支持遠(yuǎn)程控制、數(shù)據(jù)采集；可選 6 位并行 BCD 輸出，對接 PLC、數(shù)據(jù)記錄儀。

? 多組參數(shù)記憶

主機(jī)可存儲最多 6 組傳感器校準(zhǔn)參數(shù)，現(xiàn)場快速切換不同量程 VE 傳感器。

? 斷電參數(shù)保存

全部設(shè)定參數(shù)內(nèi)置存儲，關(guān)機(jī)后配置不丟失。

4. 關(guān)鍵電氣規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)精度：±0.15 % F.S；加裝 CL-0200：±0.12 % F.S（VE-8020/8021 除外）

精度保證溫區(qū)：23℃±2℃

采樣周期：20ms

移動平均：1～64 階可調(diào)

遠(yuǎn)程功能：外部觸發(fā)開始 / 停止測量、厚度校準(zhǔn)

顯示：熒光數(shù)碼管，可切換單項目 / 雙項目顯示

5. 機(jī)型差異對比

表格

項目CL-5610CL-5610S

放大器結(jié)構(gòu)主機(jī)內(nèi)置放大器獨立外置放大器單元

傳感器→放大器線纜固定 1.5m，不可延長1.5m（傳感器至外置放大器）

放大器→主機(jī)線纜無標(biāo)準(zhǔn) 2.5m，最長可選 10m

適用場景實驗室臺式離線檢測自動化設(shè)備集成、產(chǎn)線在線檢測

6. 適配 VE 傳感器分辨率參考

表格

傳感器型號測量量程標(biāo)準(zhǔn)分解能CL-0200 高分辨率模式

VE-201120～200μm0.1μm0.02μm

VE-501050～500μm0.1μm0.05μm

VE-501120～200μm0.1μm0.02μm

7. 典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體硅片、碳化硅薄片厚度無損抽檢

光學(xué)玻璃、超薄樹脂薄膜、PET 基材厚度檢測

鋰電池銅鋁箔、導(dǎo)電薄片非接觸測厚

精密導(dǎo)電墊片、鍍層基材離線厚度測試

自動化產(chǎn)線薄片在線厚度監(jiān)控