LINTEC琳得科 RP-310 專用流量顯示器

LINTEC琳得科 RP-310 專用流量顯示器

高性能質量流量計

一種高性能數字液體質量流量計，集成了微流量傳感器和PID控制器。

LM-3000L 配備高精度液體流量傳感器。它能夠以滿量程（C2H5OH 當量）對 0.1 g/min 至 20 g/min 的微小流量進行高精度測量。

由于它內置了 PID 控制器，因此可以與 Lintec 的帶閥門產品（汽化器、控制閥）結合使用，以控制液體流量。

特征

微流液體測量

汽化流量控制

精度±1%FS

金屬密封件

潔凈（保證無顆粒）

RS-485通信

關鍵特性

超微量液體專屬熱式傳感

原廠自研液體流量傳感器，最小滿量程 0.1g/min，適配納升級微量前驅體輸送；內置全域溫度補償，溫漂極低：零點 / 量程 ±0.1% FS/℃

高潔凈耐腐蝕氣液通路

接液材質：SUS316L 不銹鋼，鍍金金屬硬密封，無橡膠件

He 檢漏等級：1×10?11 Pa?m3/s，半導體無塵制程標準

兼容有機金屬、硅氧烷、弱腐蝕液態源，無溶脹泄漏風險

內置 PID 運算單元

自帶 PID 控制算法，外接 CV-1000 調節閥即可整套組成液體質量流量控制器，無需額外獨立控制模塊；搭配 VU 一體式汽化器可實現汽化前端精準流量監測，不受汽化爐高溫干擾

雙信號輸出

數字：RJ45 接口 RS485 Modbus

模擬：D-Sub 9Pin 0~5V 流量讀數輸出（僅監測，無流量設定輸入）

供電（與 MC-3000 氣體系列一致）

雙極性直流：+15VDC 150mA /-15VDC 200mA，不可單用 24V 電源