LINTEC琳得科 HX-0100C 高溫載氣加熱器

LINTEC琳得科 HX-0100C 高溫載氣加熱器

產品優勢

300℃超高溫恒溫能力

適配高升華溫度固態源、高粘度液態前驅體，避免載氣進入汽化腔降溫導致汽化效率暴跌，是 ALD、金屬有機 CVD 標配加熱單元。

雙 K 型熱電偶測溫，控溫更穩定

內置 2 支 K 型熱電偶，閉環 PID 控溫，溫度均勻無局部低溫死角；過熱保護 350℃自動斷電，杜絕干燒風險。

半導體超高潔凈流道

接氣材質 EP 拋光 SUS316L 不銹鋼，無橡膠密封；氦檢漏≤1×10?11 Pa?m3/s，兼容 N?/Ar/O?、臭氧、輕度鹵素工藝氣體，滿足 8/12 寸晶圓制程標準。

專用低流阻換熱結構

額定 20SLM 工況壓損 40kPa，串聯 MFC 后端不會破壞流量控制精度，負壓真空管路可穩定使用。

緊湊型模塊化機身

尺寸 169×177mm，任意角度安裝，適配真空臺、機柜機架布局，整機重 2.0kg。

技術參數

表格

參數項目HX-0051H 規格

額定加熱流量（N?標定）0~20 SLM

最高連續使用溫度300 ℃

耐壓上限1 MPa(G)

20SLM 標準壓力損失40 kPa

加熱功率（AC200~240V）400 W

測溫元件2 支 K 型熱電偶

過熱保護斷開溫度350℃±20℃

氣路接頭標準 1/4" VCR 內外絲

漏率（He）≤1×10?11 Pa·m3/s

安裝方式任意角度臥式 / 立式

整機重量2.0 kg