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日本EBARA荏原最早創立于1912年，正式成立于1920年，總部位于日本東京，是一家擁有百年歷史的日本企業。主要產品品種有泵、制冷機、冷卻塔、風機、渦輪機、垃圾焚燒設施、真空泵、CMP設備、廢棄處理設備、電鍍設備等。
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日本EBARA荏原 五軸磁懸浮渦輪分子泵產品參數
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 化工,地礦,能源,綜合,半導體 |
日本EBARA荏原 五軸磁懸浮渦輪分子泵詳細信息
日本EBARA荏原 五軸磁懸浮渦輪分子泵 EMT2200MK
日本EBARA荏原 五軸磁懸浮渦輪分子泵 EMT2200MK
EBARA荏原真空泵的優勢
1. 無油、干凈的真空
2.可以從大氣壓到高真空
3.無需定期維護，如加水或更換機油
模型EMT/模型EBT
超高真空渦輪分子泵
磁懸浮式/滾珠軸承式
特色與優勢
適用于從340到4,200升/分鐘的廣泛排氣速度范圍。提供集成控制器類型和風冷/水冷類型。
型號EMT/EBT渦輪分子泵
特性
磁軸承型
泵送速度范圍從340到3,300L/s
集成控制器型
提供風冷和水冷兩種類型(除EMT2200MK和EMT3300MK
型號外)
EaARA
可選高溫防腐規格
提供多種特殊規格(例如，高溫和超低振動型號)的系列
可朝任意方向設置
支持網絡連接
符合CE標志、SEMI及NRTL標準
EMT系列總覽表
| 型號 | 氮氣泵送速度（L/s） | 控制器類型 | 核心定位 |
|---|---|---|---|
| EMT397M | 340 | 分離式 | 小型分析儀器、SEM/XPS、研發設備 |
| EMT427M | 400 | 分離式 | 中型分析儀器、小型量產真空腔體 |
| EMT907M | 900 | 分離式 | 中型鍍膜、半導體工藝腔體 |
| EMT1307M | 1300 | 分離式 | 大型鍍膜、中試量產真空設備 |
| EMT2400M | 2400 | 分離式 | 大型量產真空系統、超大尺寸鍍膜設備 |
| EMT1700MK | 1650 | 集成式 | 中型量產腔體、MEMS 批量加工 |
| EMT2200MK | 2200 | 集成式 | 大型分析設備、中型量產鍍膜線 |
| EMT3300MK | 3300 | 集成式 | 大型半導體工藝腔體、量產真空系統 |
| EMT3400MK | 3300 | 集成式 | 大型鍍膜產線、多工位真空設備 |
| EMT3800MK | 3600 | 集成式 | 超大型量產真空系統、大面積薄膜沉積 |
| EMT4200MK | 4200 | 集成式 | 超大流量集中真空系統、科研平臺 |
球軸承型
潤滑脂潤滑球軸承型
泵送速度范圍從70到2,400L/s
緊湊、輕量、低成本
·提供集成控制器型號
(僅適用于EBT70和EBT240型號)
高抗沖擊性
提供風冷和水冷型(僅EBT70F和EBT240F型號支持風冷)
可朝任意方向安裝支持網絡連接
符合CE標志、SEMI及NRTL認證
EBT系列總覽表
| 型號 | 氮氣泵送速度（L/s） | 軸承形式 | 潤滑方式 |
|---|---|---|---|
| EBT70F | 70 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT220F | 220 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT240F | 240 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT350F | 330 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT450F | 450 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT800F | 820 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT1100F | 1100 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT1400F | 1400 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
| EBT2400F | 2400 | 滾珠軸承 | 油脂潤滑 |
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內容聲明：
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