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日本EBARA荏原最早創(chuàng)立于1912年，正式成立于1920年，總部位于日本東京，是一家擁有百年歷史的日本企業(yè)。主要產(chǎn)品品種有泵、制冷機(jī)、冷卻塔、風(fēng)機(jī)、渦輪機(jī)、垃圾焚燒設(shè)施、真空泵、CMP設(shè)備、廢棄處理設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備等。
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日本EBARA荏原 陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵產(chǎn)品參數(shù)
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,能源,綜合,半導(dǎo)體 |
日本EBARA荏原 陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵詳細(xì)信息
日本EBARA荏原 陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵 EBT450F
日本EBARA荏原 陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵 EBT450F
EBARA荏原真空泵的優(yōu)勢(shì)
1. 無(wú)油、干凈的真空
2.可以從大氣壓到高真空
3.無(wú)需定期維護(hù)，如加水或更換機(jī)油
模型EMT/模型EBT
超高真空渦輪分子泵
磁懸浮式/滾珠軸承式
特色與優(yōu)勢(shì)
適用于從340到4,200升/分鐘的廣泛排氣速度范圍。提供集成控制器類型和風(fēng)冷/水冷類型。
型號(hào)EMT/EBT渦輪分子泵
特性
球軸承型
潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑球軸承型
泵送速度范圍從70到2,400L/s
緊湊、輕量、低成本
·提供集成控制器型號(hào)
(僅適用于EBT70和EBT240型號(hào))
高抗沖擊性
提供風(fēng)冷和水冷型(僅EBT70F和EBT240F型號(hào)支持風(fēng)冷)
可朝任意方向安裝支持網(wǎng)絡(luò)連接
符合CE標(biāo)志、SEMI及NRTL認(rèn)證
EBT系列總覽表
| 型號(hào) | 氮?dú)獗盟退俣龋↙/s） | 軸承形式 | 潤(rùn)滑方式 |
|---|---|---|---|
| EBT70F | 70 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT220F | 220 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT240F | 240 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT350F | 330 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT450F | 450 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT800F | 820 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT1100F | 1100 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT1400F | 1400 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
| EBT2400F | 2400 | 滾珠軸承 | 油脂潤(rùn)滑 |
磁軸承型
泵送速度范圍從340到3,300L/s
集成控制器型
提供風(fēng)冷和水冷兩種類型(除EMT2200MK和EMT3300MK
型號(hào)外)
EaARA
可選高溫防腐規(guī)格
提供多種特殊規(guī)格(例如，高溫和超低振動(dòng)型號(hào))的系列
可朝任意方向設(shè)置
支持網(wǎng)絡(luò)連接
符合CE標(biāo)志、SEMI及NRTL標(biāo)準(zhǔn)
EMT系列總覽表
| 型號(hào) | 氮?dú)獗盟退俣龋↙/s） | 控制器類型 | 核心定位 |
|---|---|---|---|
| EMT397M | 340 | 分離式 | 小型分析儀器、SEM/XPS、研發(fā)設(shè)備 |
| EMT427M | 400 | 分離式 | 中型分析儀器、小型量產(chǎn)真空腔體 |
| EMT907M | 900 | 分離式 | 中型鍍膜、半導(dǎo)體工藝腔體 |
| EMT1307M | 1300 | 分離式 | 大型鍍膜、中試量產(chǎn)真空設(shè)備 |
| EMT2400M | 2400 | 分離式 | 大型量產(chǎn)真空系統(tǒng)、超大尺寸鍍膜設(shè)備 |
| EMT1700MK | 1650 | 集成式 | 中型量產(chǎn)腔體、MEMS 批量加工 |
| EMT2200MK | 2200 | 集成式 | 大型分析設(shè)備、中型量產(chǎn)鍍膜線 |
| EMT3300MK | 3300 | 集成式 | 大型半導(dǎo)體工藝腔體、量產(chǎn)真空系統(tǒng) |
| EMT3400MK | 3300 | 集成式 | 大型鍍膜產(chǎn)線、多工位真空設(shè)備 |
| EMT3800MK | 3600 | 集成式 | 超大型量產(chǎn)真空系統(tǒng)、大面積薄膜沉積 |
| EMT4200MK | 4200 | 集成式 | 超大流量集中真空系統(tǒng)、科研平臺(tái) |
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