化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
大亞真空株式會社DIAVACLIMITED自1931年創業以來，通過真空技術滿足了各個領域的需求，是一定專業的真空設備制造商，產品有真空泵，真空閥及真空計等產品。
查看更多產品簡介
DIAVAC大亞真空HV系列高真空擋板閥產品參數
| 應用領域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,半導體 |
DIAVAC大亞真空HV系列高真空擋板閥詳細信息
DIAVAC大亞真空HV系列高真空擋板閥
DIAVAC大亞真空HV系列高真空擋板閥
HV 系列是擴散泵專用氣動擋板閥，定位：腔體 ? 擴散泵之間主隔離閥，日系傳統油擴散泵鍍膜機標配；閥板內置擋板結構，自帶防油返流屏障，這是 HV 和 BV、LCAV *核心區別。
重要定位區分
BV：波紋管直通閥，潔凈管路隔離，無防油擋板；
LCAV/LAV-K：角閥，適合粗抽、中真空管路；
HV 擋板閥：專為擴散泵設計，閥板集成擋油結構，抑制擴散泵油蒸汽返流腔體。
一、全型號參數一覽表（DIAVAC HV 標準系列）
表格
| 型號 | 法蘭規格 | 通徑 | 流導 (L/s) | He 本體漏率 | 驅動氣源 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| HV-40 | NW40(KF40) | 40mm | 38 | ≤1.3×10?? Pa·m3/s | 0.29～0.49 MPa | 4.3kg |
| HV-50 | NW50(KF50) | 50mm | 72 | ≤1.3×10?? Pa·m3/s | 0.29～0.49 MPa | 6.5kg |
| HV-80 | NW80(KF80) | 80mm | 135 | ≤1.3×10?? Pa·m3/s | 0.29～0.49 MPa | 11.2kg |
二、通用基礎規格
閥體材質：SUS304 不銹鋼
標準密封：FKM 氟橡膠；可選 Kalrez 全氟醚橡膠（腐蝕工藝氣體）
適用真空區間：1×10? Pa ～ 1×10?? Pa（粗真空～高真空）
驅動形式：單作用氣動、彈簧復位（失氣自動關閉，**聯鎖）
結構核心亮點 閥板自帶屏蔽擋板，閥門關閉時形成屏障，大幅阻擋擴散泵油蒸汽逆向擴散進入腔體，降低膜層污染；普通閥門無此結構。
*高使用溫度：70℃（FKM 密封，不支持高溫烘烤）
使用壽命：常溫 ≥80 萬次啟閉
可選配件 磁性限位開關（閥門開 / 閉信號反饋，對接 PC-3DA / CT-3DA 真空計、PLC 時序聯鎖）
三、外觀特征（全網缺少高清實拍，文字方便核對實物）
L 型 90° 角式擋板結構；下端法蘭接擴散泵，水平法蘭接腔體；
頂部直立安裝氣動氣缸；
閥體腔體內部可見圓形擋油閥板（區別普通 LCAV 角閥內部光滑閥座）；
閥體刻印 DIAVAC HV-XX Made in Japan；
體積比同通徑 LCAV 更大、腔體更深，內部容納擋油結構。
四、運用場景
1. 光學鍍膜、電子束蒸發設備（*主流）
油擴散泵入口主隔離閥。工藝結束、腔體破**關閉 HV 閥，雙重阻隔擴散泵油返流； 標準成套：HV-50 + PC-3DA 組合真空計 + AV-25-A 放氣閥。
2. 電阻蒸發、小型多層膜鍍膜機
傳統日系蒸發設備原廠標配閥；替代改造** HV 系列，匹配原有擴散泵管路。
3. 科研高真空擴散泵實驗腔體
保護樣品不受泵油污染；搭配 CT-3DA 冷陰極真空計監測高真空區間。
4. 真空熱處理、真空釬焊（擴散泵機組）
高真空主切斷，停機隔離腔體與泵體，減少長期靜置油返流。
五、經典系統管路搭配方案
標準擴散泵真空機組 腔體 → HV 擋板閥（主閥）→ 擴散泵 → BV 波紋管閥（擴散泵前級隔離）→ 旋片干泵粗抽管路 粗抽支路：LCAV-40 粗抽閥 + PSG-1 皮拉尼規 監測：PC-3DA 真空計實現壓力聯鎖，壓力達標自動開啟 HV 閥。
關聯品牌
留言咨詢
內容聲明：
您訪問的DIAVAC大亞真空HV系列高真空擋板閥產品信息，由玉崎半導體(深圳)有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于DIAVAC大亞真空HV系列高真空擋板閥型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發布評論