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大亞真空株式會社DIAVACLIMITED自1931年創業以來，通過真空技術滿足了各個領域的需求，是一定專業的真空設備制造商，產品有真空泵，真空閥及真空計等產品。
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DIAVAC大亞真空PZ油封式雙級旋片真空泵產品參數
| 供貨周期 | 一周 | 應用領域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,半導體 |
DIAVAC大亞真空PZ油封式雙級旋片真空泵詳細信息
DIAVAC大亞真空PZ油封式雙級旋片真空泵
DIAVAC大亞真空PZ油封式雙級旋片真空泵
PZ 系列為雙級油潤滑旋片真空泵，日系原裝，定位：粗抽泵 / 擴散泵前級泵，和你前面整套 DIAVAC 閥門、3DA 真空計**配套；風冷結構、內置自動防返油閥 + 可調氣鎮閥，是鍍膜、科研真空系統經典前級機械泵。
一、全型號標準參數表（50Hz，工業通用規格）
表格
| 型號 | 50Hz 抽速 (L/min) | 進氣法蘭 | 極限真空（關氣鎮） | 極限真空（開氣鎮） | 電機功率 | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PZ-60 | 67 | KF25 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 0.4kW | 19 |
| PZ-100 | 133 | KF25 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 0.75kW | 21 |
| PZ-200 | 200 | KF40 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 1.1kW | 30 |
| PZ-300 | 333 | KF40 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 1.5kW | 35 |
| PZ-500 | 500 | KF50 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 2.2kW | 43 |
| PZ-600 | 600 | KF50 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 3.0kW | 62 |
| PZ-1000 | 1000 | KF63 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 3.7kW | 65 |
| PZ-1500 | 1500 | KF63 | ≤6.7×10?2 Pa | ≤1 Pa | 5.5kW | 62 |
二、通用核心規格
泵結構：雙級直聯旋片、油密封潤滑
冷卻方式：風冷，無需冷卻水
標配機能 ? 自動防返油閥：停機立刻封閉進氣口，防止真空油倒灌腔體（保護鍍膜腔、規管） ? 可調氣鎮閥：抽取含水汽、少量可凝蒸汽工況開啟，避免水汽在泵內凝結乳化真空油
適用工作區間：大氣壓 ～ 1×10?1 Pa（粗真空 / 低中真空）
電源標準：三相 AC200V（日系標準）；可選單相 / 380V 改制
潤滑油：DIAVAC 專用真空油 DV-OIL
安裝姿態：水平安裝；禁止長時間傾斜運行
可選配件
進氣粉塵過濾器、油霧分離器
減震底座、KF 波紋管減震接管
油位傳感器、溫度保護開關
三、產品核心優勢
整機緊湊低振動、低噪音，適配鍍膜機機架內置安裝；
和 DIAVAC HV 擴散泵、LCAV、BV、3AW 閥門原廠配套，管路法蘭統一 KF 標準；
防返油結構是鍍膜系統關鍵優勢，避免停機油污染腔體；
長期連續運轉穩定，日系設備維修替換主流型號。
四、運用場景
1. 光學鍍膜、電子束蒸發設備【*主流】
擴散泵專用前級泵 標準機組：PZ 旋片泵 + LCAV 粗抽閥 + HV 擴散泵擋板閥 + 擴散泵；搭配 PC-3DA 真空計時序控制。 先由 PZ 將腔體預抽至 0.1Pa 級別，滿足擴散泵啟動條件。
2. 科研高真空實驗腔體、樣品預處理臺
小型真空腔體粗抽；搭配 3AW 三通閥、AV 放氣閥、PT-3DA 真空計組成完整手動 / 自動真空臺。
3. 真空冷凍干燥、真空脫泡設備
氣鎮開啟，耐受物料釋放水蒸氣；獨立作為粗真空主泵。
4. 真空檢漏系統、氦檢預抽站
提供穩定前級真空，保障檢漏儀正常啟動。
5. 鋰電池真空烘箱、小型真空浸漬設備
持續粗抽，去除工件內部氣體與水汽。
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內容聲明：
您訪問的DIAVAC大亞真空PZ油封式雙級旋片真空泵產品信息，由玉崎半導體(深圳)有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于DIAVAC大亞真空PZ油封式雙級旋片真空泵型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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