EBARA荏原相關產品-臭氧化器

EBARA荏原相關產品-臭氧化器

特色與優勢

• OZC型號是一種臭氧化器，能夠穩定產生大量高濃度臭氧（10伏或更高）。通過采用高度抗臭氧和等離子體的材料，實現超清潔臭氧氣體和延長產品壽命。小面積臭氧化器通過顯著增加單位面積產生的臭氧體積實現。標配臭氧泄漏傳感器等安全功能，以及安全電路，以便在發生故障或緊急情況下安全停機。

• 核心功能特點

  設備結構與操控

  柜體分層布局，上層集中布置數顯操控面板、急停安全按鈕；中層為臭氧發生核心模塊、氣體管路閥門；下層搭載散熱通風機組，底部配備萬向腳輪，設備可靈活移動調整擺放位置。

  整機操作界面可視化，可直觀查看臭氧濃度、設備運行功率、腔體溫度等關鍵參數，參數可按需調節適配不同工藝需求。

  適用場景

  多用于晶圓表面氧化處理、精密電子零部件清洗、薄膜表面改性等對臭氧純度、濃度穩定性要求嚴苛的工業潔凈制程。

• 高濃度穩定產氣

  設備可穩定產出 10 伏及以上高濃度臭氧，產氣流量充足，能夠持續供給產線氧化工藝使用，濃度波動小，工藝一致性穩定。

• 超純凈臭氧輸出

  整機與臭氧、等離子體直接接觸的腔體、管路，全部選用高耐臭氧腐蝕特種材料。生產過程無雜質析出，產出臭氧純度高，不會污染精密工件。

• 標配臭氧泄漏安全監測

  設備出廠自帶臭氧泄漏傳感裝置，實時監測機身周邊臭氧濃度。一旦出現氣體泄漏，設備會立刻觸發報警，同步執行聯鎖停機，規避臭氧中毒、腐蝕設備的安全隱患。

• 一體化緊湊柜體結構

  整機集成放電發生單元、冷卻模塊、控制操作面板、安全保護模塊，全部整合在單臺立式機柜內，無需額外配套多臺輔機，安裝擺放便捷，僅需正面預留日常檢修空間。