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內容聲明：
您訪問的晶圓內應力測量儀-SV系列產品信息，由岱美儀器技術服務（上海）有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于晶圓內應力測量儀-SV系列型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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產品簡介
晶圓內應力測量儀-SV系列產品參數
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 能源,電子/電池,航空航天,綜合,半導體 |
晶圓內應力測量儀-SV系列詳細信息
產品概況
晶圓或者基板內應力高精度高解析度定量測量和缺陷檢測
核心優勢
采用自主的雙遠心檢測光路，確保內應力測量結果準確可靠
高分辨成像:橫向解析度，可精確定位微小缺陷
具備微管、包裹物、夾雜、氣泡等晶圓缺陷的快速檢測識別和顯微復查功能
檢測內容
光學延遲
方位角
內應力
微管
微裂紋
性能參數
應用案例
適用對象
硅、碳化硅、氮化鎵、藍寶石、砷化鎵、磷化錮、碲鋅鎘、石英、玻璃等各種透光材料襯底品圓及外延片
硅、碳化硅、氮化鎵、藍寶石、砷化鎵、磷化錮、碲鋅鎘、石英、玻璃等各種透光材料襯底品圓及外延片
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