特點

01. 盡管體積緊湊，氣缸閉合時推力加倍（密封可靠），并在行程端提供空氣緩沖（吸震）。

02. 閥體密封機構采用均勻間距的球壓方式，在反壓下具有很好的可靠性。

03. 不銹鋼外殼通過真空吹風機對拋光板材制造，消除內部表面的死角，減少氣體排放。

04. 組裝和檢查在無塵室進行。
LCD/OLED 面板生產線 MIYUKI  空氣驅動閘閥 G-J350
LCD/OLED 面板生產線 MIYUKI  空氣驅動閘閥 G-J350

參數

法蘭式JIS?ISO?CF?KF（西北）

呼鈴直徑40A ~ 500A

泄漏量（殼體）（閥座）

1×10-11 Pa·M3低于

1×10秒-10 Pa·M3/s或更短

應用領域105~10-6 pa

氣體接觸材料SUS304

軸密封氟橡膠O型圈

傳動系統空氣驅動

工作氣壓0.4~0.6 MPaG

開合指示器配備微動開關（用于開關，用于各位置檢測）

二、適配場景：半導體刻蝕設備定位

多用于刻蝕機主抽管路、腔室粗抽 / 高真空隔斷、干泵 / 分子泵前端總閥

等離子刻蝕腔體隔離，檢修時隔絕真空腔與泵組，防止大氣返流污染晶圓

刻蝕腐蝕性工藝氣體環境，低放氣、低產塵，匹配 Fab 潔凈制程要求

大口徑 350 主管路通斷，滿足量產設備大流量抽氣需求，縮短腔體抽本底時間

三、核心硬件結構 & 刻蝕適配優勢

氣缸推力放大 + 末端空氣緩沖

小型氣缸輸出雙倍閉合壓緊力，密封牢靠；關閉行程自帶氣墊緩沖，閥板撞擊震動小，大幅減少顆粒物掉落，適配刻蝕無塵腔體，延長密封件壽命。

等間距滾珠均壓密封結構

正反壓差、腔體背壓工況密封穩定，刻蝕腔體瞬時壓力波動不會出現內漏，腔體保壓性能穩定。

閥體本體工藝（半導體潔凈級）

SUS304 閥體真空釬焊 + 內腔電解拋光，無內腔死角、極低出氣率；整機在百級潔凈室裝配 + 逐臺氦檢。

側向氣缸布局

閥體整體厚度緊湊，便于刻蝕設備狹小機柜內部管路排布。