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產品簡介
CD-SEM電子源簡介:
瞬景科技量產的肖特基場發射電子源,專為半導體臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)設計。產品兼容日立CG系列、AMAT 6i/7i/G7系列、科磊EDR系列等主流量檢測設備機型,出廠前已完成精密預對中,可快速部署、穩定運行。經多家客戶實際裝機驗證,其電子束亮度與穩定性均已達到進口同類產品水準,是半導體產線設備備件國產化的可靠選擇。
參數規格:
曲率半徑 | 0.45-0.55μm |
角電流密度 | ≥400 μA/ Sr |
工作溫度 | 1750-1850 K |
壽命 | ≥8000 h |
CD-SEM電子源特點:
專用于半導體量檢測設備,適配主流CD-SEM機型;
核心材料采用氧化鋯單晶鎢,發射性能優異;
規格型號豐富,覆蓋不同設備平臺需求;
國產自主研發,可高效替代進口產品。
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移動站:CD-SEM電子源
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