型號釋義

核心技術參數

產品核心特點

1. 高流導輕薄閥體

   面間尺寸緊湊，氣體流通阻力低，同口徑產品流通性能優秀，縮短腔體抽真空時間。

2. 可靠真空密封

   閥門閉合狀態下閥瓣實現有效密封，維持腔體真空度，抑制真空衰減。

3. 安裝自由度高

   不受管路安裝方位限制，適配布局緊湊、狹小空間的真空設備。

4. 潔凈生產工藝

   閥門在潔凈室內完成組裝與氣密性全檢，低發塵，滿足光學實驗、薄膜制備等高潔凈真空工況。

5. 拓展選配豐富

   可選手柄鎖止機構、開度指示標牌，防止誤操作，直觀識別閥門開閉狀態。

典型應用場景

使用注意事項

1. 管路介質避免大量固體粉塵，顆粒物附著密封面會造成泄漏上升；

2. 等離子、強腐蝕工況，可更換 Kalrez 全氟醚密封件；

3. 根據工況定期檢查、更換 O 型密封圈；

4. 選型確認法蘭標準，超高真空烘烤工況優先選用 CF 法蘭版本。