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FLUOROF系列真空吸筆FLUORO(日本福樂)F系列為全氟樹脂防腐型真空拾取工具,行業(yè)俗稱真空鑷子、真空吸棒,F(xiàn)007為該系列彈出吹氣釋放主力型號,面向半導(dǎo)體濕法制程開發(fā),專門用于硅晶圓、化合物晶
EBARA荏原ESA系列為水冷式無油干式羅茨真空泵,專為大流量工況、氫氣等輕質(zhì)氣體抽氣優(yōu)化,是半導(dǎo)體MO-CVD外延、LED、光伏、大型真空腔體量產(chǎn)產(chǎn)線主力干泵,支持7×24小時連續(xù)工藝運行,兼顧耐腐
EBARA荏原EMT、EBT系列為復(fù)合式渦輪分子泵,是實現(xiàn)高真空、超高真空工況核心主抽泵。EMT為磁懸浮軸承型,EBT為陶瓷滾珠軸承型,覆蓋寬廣抽速區(qū)間,支持空冷/水冷、控制器一體/分離多種配置,廣泛
干式真空泵是一類泵腔內(nèi)無油無水、依靠機械轉(zhuǎn)子改變腔體容積實現(xiàn)抽氣的潔凈型真空泵,全程無油潤滑介質(zhì),可避免油蒸氣污染被抽系統(tǒng),是當(dāng)前制造領(lǐng)域替代傳統(tǒng)油封泵的主流設(shè)備。干式真空泵它的主流類型及運行邏輯如下
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