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產品簡介
| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 看參數 |
| 貨號 | 1302s79s23z555 | 應用領域 | 綜合 |
| 主要用途 | 半導體 |
全新到貨MIYUKI美幸輝 大口徑高真空閘
全新到貨MIYUKI美幸輝 大口徑高真空閘
GR-C100 是日本美幸輝 (MIYUKI) 公司 GR 系列中的一款 DN100 氣動高真空閘閥。它采用氣動驅動,專為要求高真空密封性與潔凈度的自動化應用而設計。
| 參數項目 | 規格指標 |
|---|---|
| 品牌與系列 | 日本 美幸輝 (MIYUKI),GR 系列 |
| 型號 | GR-C100 |
| 公稱通徑 | DN100 (100mm) |
| 驅動方式 | 氣動(壓縮空氣) |
| 法蘭連接 | 兼容 JIS、ISO、CF、KF 等標準 |
| 壓力范圍 | 大氣壓 ~ 1×10?? Pa (高真空) |
| 泄漏率 (閥座) | ≤ 1×10?1? Pa·m3/s |
| 泄漏率 (閥體) | ≤ 1×10?11 Pa·m3/s |
| 閥體材質 | 不銹鋼 SUS304(真空釬焊) |
| 密封件材質 | 標配 氟橡膠 (FKM),可選 Kalrez 全氟醚 |
| 耐溫范圍 | -30℃ ~ 150℃(適配腔體烘烤除氣) |
| 安裝方向 | 任意角度 |
| 開度指示 | 帶微動開關,用于檢測全開和全關位置 |
緊湊化設計:執行器的放置位置經過優化,旨在縮短閥門的外部輪廓尺寸,使其能更好地適配空間有限的真空系統。
優異的抗反壓密封性能:閥體密封機構采用均勻分布的壓球方式,在反向壓力下也能保持高可靠性,確保真空系統的穩定。
低釋氣、高潔凈:不銹鋼外殼采用真空釬焊工藝,消除了內表面的死角,有效減少了氣體釋放(脫氣)。產品在無塵室中完成組裝和檢查。
可靠的驅動與緩沖:氣缸設計巧妙,關閉時推力加倍以確保密封牢固,同時在行程末端形成氣墊效果以起到減震作用。
安裝靈活:支持任意角度安裝,可適應多樣化的緊湊管路布局。
半導體制造:刻蝕、沉積(PVD/CVD)等工藝設備的真空管路自動控制。
光學鍍膜:真空鍍膜設備的氣動閥門。
科研與航天:高真空實驗裝置的自動化操作。
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